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龙图腾网获悉安徽微芯长江半导体材料有限公司申请的专利一种碳化硅单晶片位错缺陷的腐蚀处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118374888B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410498752.9，技术领域涉及：C30B33/10；该发明授权一种碳化硅单晶片位错缺陷的腐蚀处理装置是由忻隽;吴寒;张永良设计研发完成，并于2024-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种碳化硅单晶片位错缺陷的腐蚀处理装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种碳化硅单晶片位错缺陷的腐蚀处理装置，具体涉及他碳化硅加工技术领域。上述一种碳化硅单晶片位错缺陷的腐蚀处理装置包括液箱，液箱内固定连接有隔板，液箱的内腔由隔板分隔成腐蚀液槽和洁净水槽，液箱的两端均固定连接有支架一，每个支架一上转动连接有飞轮，一对飞轮上传动连接有链条，其中一个支架一上设置有用于驱动飞轮转动的马达，链条的链板上转动连接有转动座，转动座上固定连接有固定块，链条的前侧设置有活动贯穿转动座的直线导条；还包括张紧组件、弹性伸缩件、载板和移动导引结构。本发明实现了碳化硅晶片腐蚀达到安全、充分、高效、高质量和清洗便捷的效果，满足半自动化的加工作业。

本发明授权一种碳化硅单晶片位错缺陷的腐蚀处理装置在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅单晶片位错缺陷的腐蚀处理装置，其特征在于，包括液箱1，所述液箱1内固定连接有隔板2，所述液箱1的内腔由隔板2分隔成腐蚀液槽和洁净水槽，所述液箱1的两端均固定连接有支架一3，每个支架一3上转动连接有飞轮4，一对飞轮4上传动连接有链条5，其中一个支架一3上设置有用于驱动所述飞轮4转动的马达6，所述链条5的链板上转动连接有转动座7，所述转动座7上固定连接有固定块71，所述链条5的前侧设置有活动贯穿所述转动座7的直线导条72； 张紧组件17，所述张紧组件17设置在所述液箱1和链条5上； 弹性伸缩件8，所述弹性伸缩件8设置在所述固定块71上； 载板9，所述载板9设置在所述弹性伸缩件8上，所述载板9的前表面转动连接有构成V形结构的三个支撑转辊10，所述碳化硅单晶片设置在三个支撑转辊10上，所述载板9上固定架设有一对刮条11，所述刮条11与碳化硅单晶片的表面活动接触，所述载板9的后表面转动连接有滑座12，其中一个支撑转辊10的轴端固定连接有传动齿轮13； 移动导引结构14，所述移动导引结构14的数量为两组，且分别设置在所述腐蚀液槽和洁净水槽内，所述移动导引结构14包括一对轨道141和固定连接在位于底部的轨道141上的齿条一142、齿条二143，一对轨道141之间形成有导滑道，所述滑座12滑动连接在所述导滑道中，所述齿条一142和齿条二143用于啮合传动齿轮13； 所述轨道141从左至右由横段一、下斜段、横段二、上斜段和横段三衔接组成，所述齿条一142固定连接在所述横段二的底部，所述齿条二143固定连接在所述上斜段的外斜面上，两对轨道141相对接，两对轨道141分别固定架设在所述腐蚀液槽和洁净水槽内。

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