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龙图腾网获悉安徽微芯长江半导体材料有限公司申请的专利一种自动加液式碳化硅腐蚀设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118531505B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410679893.0，技术领域涉及：C30B33/10；该发明授权一种自动加液式碳化硅腐蚀设备是由江成陈;张永良;曹德坤设计研发完成，并于2024-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种自动加液式碳化硅腐蚀设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种自动加液式碳化硅腐蚀设备，包括右端开设有进料开口且为圆柱形结构的腐蚀筒和用于承载碳化硅晶片的承载架，所述腐蚀筒的底部设置有加热器，且所述加热器的外表面设置有保温壳体，所述加热器内部的加热腔通过所述腐蚀筒内腔底部设置有通气开口与所述腐蚀筒内腔相通，特征在于：还包括密封驱动单元、自动加液单元和雾化清洗降温单元。本设备的自动加液单元可根据碳化硅晶片的数量自动添加适量的碱性溶液，无需人工手动添加操作，且无需牢记所放置碳化硅晶片的数量。

本发明授权一种自动加液式碳化硅腐蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种自动加液式碳化硅腐蚀设备，包括右端开设有进料开口且为圆柱形结构的腐蚀筒3和用于承载碳化硅晶片的承载架6，所述腐蚀筒3的底部设置有加热器2，且所述加热器2的外表面设置有保温壳体，所述加热器2内部的加热腔通过所述腐蚀筒3内腔底部设置有通气开口10与所述腐蚀筒3内腔相通，特征在于：还包括密封驱动单元4和自动加液单元5； 密封驱动单元4：用于将承载架6推送至所述腐蚀筒3内腔后对所述进料开口密封； 自动加液单元5：根据所述承载架6上放置的碳化硅晶片的多少自动定量添加适量的碱性溶液至所述加热腔中； 所述承载架6安装在所述密封驱动单元4上，所述密封驱动单元4、所述加热器2和所述自动加液单元5均安装在支撑架1上； 所述密封驱动单元4包括安装在所述支撑架1上的L形安装架43以及安装在所述腐蚀筒3内腔顶部的滑轨，所述L形安装架43上安装有电动轨道44，所述电动轨道44上安装有移动滑块45，所述移动滑块45的下端转动设置有转轴47，所述转轴47上固定有与所述进料开口适配的密封板41，所述转轴47的左端与连接滑杆42的右端转动连接，所述连接滑杆42的左端滑动设置在所述滑轨上，所述转轴47的右端上安装有第一伞形齿轮，所述移动滑块45的下端固定有驱动电机46，且所述驱动电机46的下端安装有与所述第一伞形齿轮啮合连接的第二伞形齿轮； 所述自动加液单元5包括安装在所述连接滑杆42下端的安装槽51和位于所述承载架6下方并与滑动贯穿所述支撑架1的活动立杆54，所述安装槽51内活动设置有T形块52，且所述T形块52通过多个等间距设置的线性弹簧519与所述安装槽51的连接，所述T形块52的下端穿过所述安装槽51底部设置有开口与所述承载架6的上端固定连接； 所述活动立杆54的上端固定有与所述承载架6底部接触的接触板55，所述活动立杆54的两侧均等间距设置有第一导向轮57，两所述第一导向轮57上装配连接有配重绳59，所述配重绳59的端部穿过所述活动立杆54上设有的贯穿口53，所述配重绳59的绳体中部固定在所述贯穿口53内，所述配重绳59的两端均固定有相通规格的配重块58，两个所述配重块58始终保持高度一致，所述活动立杆54的前端上呈上至下等间距设置有若干个驱动齿56，所述驱动齿56与单向齿轮511齿接，所述单向齿轮511固定套设在曲轴510上，所述曲轴510转动设置在所述支撑架1底部设置有U形架515上，所述曲轴510上一上一下活动安装有两个活动杆512，且两个所述活动杆512的下端均与相对应的活塞头513活动连接，两个所述活塞头513分别密封滑动设置在相对应活塞筒514中，两个所述活塞筒514通过下端设置有进液管516与储液桶518的储液腔相通，两个所述活塞筒514通过侧端设置的出液管517与所述加热器2的加热腔相通，所述进液管516和所述出液管517上分别设置有进液单向阀和出液单向阀； 两个所述配重块58的重量大于所述活动立杆54的整体重量； 所述加热器2、所述驱动电机46和所述电动轨道44均与所述支撑架1上的PLC控制器电性连接。

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