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龙图腾网获悉电子科技大学申请的专利基于MEMS工艺的多层钯基微热氢气传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118671149B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410834599.2，技术领域涉及：G01N27/12；该发明授权基于MEMS工艺的多层钯基微热氢气传感器及其制备方法是由黎威志;阳瑞霖;袁震;范雪明;太惠玲;李勇亮;蒋亚东设计研发完成，并于2024-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于MEMS工艺的多层钯基微热氢气传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于MEMS技术、材料、传感器领域，涉及氢气传感器，具体提供一种基于MEMS工艺的多层钯基微热氢气传感器及其制备方法，用以实现小型化、加热效率高，响应时间快、控温精确及电路兼容性好的技术目标。本发明中衬底上依次层叠设置的测温电极、测温‑加热电极隔离层、加热电极、加热‑氢敏电极隔离层与氢敏电极共同形成多层重叠结构，将加热电极与其上、下层叠的氢敏电极、测温电极之间设置相同的隔离层，使测温电极与氢敏电极处于同一温度区域，提高加热效率的同时实现精确控温，进而提升钯基微热氢气传感器在不同应用场景的适用性；并且，通过在多层重叠结构开设镂空结构，形成阻热区域，能够进一步提升加热效率，降低器件功耗。

本发明授权基于MEMS工艺的多层钯基微热氢气传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于MEMS工艺的多层钯基微热氢气传感器，包括：基底101、测温电极102、测温-加热电极隔离层103、加热电极104、加热-氢敏电极隔离层105以及氢敏电极106；其特征在于： 所述基底101背部开设镂空结构，于基底顶部的中心区域形成图形化支撑层，图形化支撑层四周的镂空区域形成阻热区域107，图形化支撑层两侧与其相连接区域形成引脚区域108； 所述测温电极102设置于图形化支撑层上，所述测温-加热电极隔离层103设置于测温电极上，所述加热电极104设置于测温-加热电极隔离层上，所述加热-氢敏电极隔离层105设置于加热电极上，所述氢敏电极106设置于加热-氢敏电极隔离层上，所述测温电极102、测温-加热电极隔离层103、加热电极104、加热-氢敏电极隔离层105、氢敏电极106与图形化支撑层采用相同图形结构； 所述测温电极102、测温-加热电极隔离层103、加热电极104、加热-氢敏电极隔离层105、氢敏电极106于衬底的引脚区域108上引出引脚及相邻引脚间的隔离层。

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