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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基片处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118737794B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410793422.2，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权基片处理系统是由沼仓雅博;丰卷俊明;贝瀬精一;武山裕纪设计研发完成，并于2019-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本基片处理系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种系统，其包括常压输送室、真空处理室、一个以上的装载互锁单元、真空输送室、多个安装部、第1输送机构、第2输送机构和控制部。多个安装部设置在常压输送室。多个安装部能够可拆装地安装多个保管部的每一个。控制部与第1输送机构和第2输送机构并行地执行以下输送，即：从保管部经由常压输送室和一个以上的装载互锁单元中的一个装载互锁单元向真空处理室去的消耗部件的输送；和从真空处理室经由真空输送室和一个以上的装载互锁单元中的另一个装载互锁单元的消耗部件的输送。根据本发明，能够缩短真空处理室内的消耗部件的更换时间，从而提高基片处理系统的工作效率。

本发明授权基片处理系统在权利要求书中公布了：1.一种基片处理系统，其具有： 输送基片和消耗部件的常压输送室； 多个安装部，其具有能够使在多个保管部的各保管部与所述常压输送室之间被输送的所述基片或者所述消耗部件通过的端口，其中，所述多个保管部收纳所述基片或者所述消耗部件，所述多个安装部能够可拆装地安装所述多个保管部的每一个； 读取部，其读取安装于所述安装部的所述保管部的载体ID； 输送机构，其在所述多个保管部与连接于所述常压输送室的一个以上的装载互锁单元之间经由所述常压输送室输送所述基片和所述消耗部件，所述输送机构具有用于载置所述基片和所述消耗部件的拾取器以及使所述拾取器移动的臂； 传感器，其设置于所述拾取器的前端，对安装于所述安装部的所述保管部内的基片和消耗部件进行检测；和 控制装置， 所述控制装置，基于所述读取部读取的载体ID，识别是收纳基片且不收纳消耗部件的基片用的第1保管部的载体ID，还是收纳消耗部件且不收纳基片的消耗部件用的第2保管部的载体ID， 在识别为是所述第2保管部的载体ID的情况下，设定适合于消耗部件的大小的所述传感器的阈值。

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