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龙图腾网获悉中国科学院空天信息创新研究院申请的专利模态局域化感应式微型电场传感器及其检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118795229B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310382729.9，技术领域涉及：G01R29/08；该发明授权模态局域化感应式微型电场传感器及其检测方法是由彭春荣;刘语斐;毋正伟;任仁设计研发完成，并于2023-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本模态局域化感应式微型电场传感器及其检测方法在说明书摘要公布了：本公开提供了一种模态局域化感应式微型电场传感器及其检测方法，该传感器包括：衬底；谐振器阵列通过支撑结构设置在衬底上；感应结构设置在谐振器阵列两侧，包括可动结构与固定结构，固定结构通过支撑结构固定在衬底上，可动结构通过弹性梁支撑；驱动电极设于至少一个谐振器的一侧，用于驱动谐振器阵列带动可动结构做振动；扰动电极设置在弹性梁的一侧，用于施加电压扰动，使谐振器阵列产生模态局域化现象；检测盖板设于谐振器阵列和感应结构的上方，其靠近扰动电极的一侧用于屏蔽扰动电极靠近的感应结构上方的待测电场，另一侧用于在远离扰动电极的感应结构的上方引入待测电场。

本发明授权模态局域化感应式微型电场传感器及其检测方法在权利要求书中公布了：1.一种模态局域化感应式微型电场传感器，其特征在于，包括： 衬底1、谐振器阵列2、感应结构3、驱动电极4、弹性梁8、扰动电极7和检测盖板5； 所述谐振器阵列2通过支撑结构设置在所述衬底上； 所述感应结构3设置在所述谐振器阵列2两侧，所述感应结构3包括多个可动结构32和多个固定结构31，其中，所述固定结构31与所述可动结构32均平行于所述衬底1表面，所述固定结构31通过支撑结构固定在所述衬底1上，所述可动结构32通过所述弹性梁8支撑； 所述驱动电极4设于所述谐振器阵列2中至少一个谐振器的一侧，用于驱动所述谐振器阵列2带动两侧的所述可动结构32振动，使所述固定结构31上产生相应的感应电流； 所述弹性梁8设于每个所述感应结构3的一侧，与所述感应结构3处于同一平面； 所述扰动电极7设置在所述弹性梁8的一侧，用于施加电压扰动，使所述谐振器阵列2产生模态局域化现象； 所述检测盖板5设于所述谐振器阵列2和所述感应结构3上方，其靠近所述扰动电极7的一侧用于屏蔽所述扰动电极7靠近的感应结构3上方的待测电场，另一侧用于在远离所述扰动电极7的感应结构3的上方引入所述待测电场； 所述检测盖板5至少包括： 导电盖板51、导电盖板延伸层52、绝缘层53和导电屏蔽层54； 所述导电盖板延伸层52和所述绝缘层53均位于所述导电盖板51的底面，所述绝缘层53位于所述扰动电极7靠近的感应结构3的上方，所述导电盖板延伸层52位于远离所述扰动电极7的感应结构3上方； 导电屏蔽层54设于所述绝缘层53下方，通过粘接或键合方式固定于所述衬底1上。

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