安徽美达伦光伏科技有限公司刘裕通获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽美达伦光伏科技有限公司申请的专利一种用来清洗PECVD机台特气喷嘴的箱体器具获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119140509B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411274443.X,技术领域涉及:B08B3/08;该发明授权一种用来清洗PECVD机台特气喷嘴的箱体器具是由刘裕通;周天成;杨溢设计研发完成,并于2024-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用来清洗PECVD机台特气喷嘴的箱体器具在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用来清洗PECVD机台特气喷嘴的箱体器具,属于光伏生产技术领域。该器具包括清洗箱体、升降安装架、离心组件及驱动连接组件。升降安装架在箱体上盖闭合时下降,通过锁紧机构夹持喷嘴。离心组件结合驱动电机和自离心机构,实现喷嘴清洗过程中的稳定锁紧与旋转离心。驱动连接组件确保锁紧与分离过程的自动化,避免清洗时喷嘴撞击损坏。此器具解决了现有清洗方式中喷嘴易损坏及清洗效果不佳的问题,提高了特气喷嘴的清洗效率和质量,适用于PECVD机台特气喷嘴的定期维护。
本发明授权一种用来清洗PECVD机台特气喷嘴的箱体器具在权利要求书中公布了:1.一种用来清洗PECVD机台特气喷嘴的箱体器具,包括内部形成有腔体的清洗箱体1,所述清洗箱体1的腔体开口位置转动设置箱体上盖6,且靠近清洗箱体1腔体一侧的箱体上盖6上安装有出水管道4,所述清洗箱体1底部安装有排水手阀8,其特征在于:还包括: 滑动设置在清洗箱体1内壁表面上的升降安装架10,所述箱体上盖6和升降安装架10之间配合设置有牵拉连接杆3,在所述箱体上盖6闭合开启时,所述牵拉连接杆3用于使升降安装架10下降上升; 离心组件7,所述离心组件7包括安装在驱动电机5动力输出端上的离心架71,所述离心架71上设置锁紧机构2,锁紧机构2用于对放置在其中央位置的待清洗特气喷嘴进行夹持,所述驱动电机5滑动安装在清洗箱体1的内壁表面上; 驱动连接组件9,其包括锁紧驱动机构91,锁紧驱动机构91用于将锁紧机构2和升降安装架10进行连接,在所述箱体上盖6闭合并使升降安装架10下降时,所述锁紧驱动机构91驱动锁紧机构2完成对特气喷嘴的锁紧动作,所述锁紧驱动机构91还包括自适应连接部,在所述锁紧机构2完成对特气喷嘴的锁紧动作时,自适应连接部用于使锁紧机构2与锁紧驱动机构91和升降安装架10断开连接; 所述锁紧机构2包括一组转动设置在离心架71上的第一环体22和转动设置在第一环体22上的第二环体23,所述第一环体22上开设有多组成圆周阵列的限位槽26,所述第二环体23上设置有与多组限位槽26数量相同且一一对应的联销28,每个联销28上均转动设置转动拨杆29;且每个所述转动拨杆29的一侧端部均滑动嵌合在相对应的限位槽26内,另一侧端部则均转动设置有锁紧转杆25; 所述离心架71在多组锁紧转杆25的中心位置上设置有穿插杆24,穿插杆24用于对特气喷头进行插接放置,所述第一环体22通过锁紧驱动机构91与升降安装架10连接,在所述升降安装架10下降时,锁紧驱动机构91用于使第一环体22旋转,所述第二环体23上固定设置有限位杆21,且限位杆21远离第二环体23的端部抵触在升降安装架10的表面上,在所述第一环体22旋转时,所述限位杆21用于阻止第二环体23随第一环体22同步旋转,使第一环体22与第二环体23产生相对转动; 所述锁紧驱动机构91包括相互插接的第一连接杆912和第二连接杆914,所述第一连接杆912远离第二连接杆914的端部转动设置在离心架71上并与第一环体22相连接,所述清洗箱体1的内壁表面上固定安装有齿条911,且齿条911上啮合有齿盘915,所述齿盘915通过安装滑板916滑动设置在清洗箱体1的内壁表面,且安装滑板916与升降安装架10固定连接; 所述自适应连接部设置在第二连接杆914与齿盘915之间,多组所述锁紧转杆25完成对特气喷头的锁紧动作时,自适应连接部用于使第二连接杆914和齿盘915断开连接; 自适应连接部包括相互啮合的第一端面齿轮93和第二端面齿轮94,其中,第二端面齿轮94固定设置在齿盘915表面,第一端面齿轮93通过第二弹簧95与第二连接杆914固定连接; 所述离心组件7还包括安装在离心架71上的自离心机构72,通过所述驱动电机5使离心架71和锁紧机构2整体旋转时,所述自离心机构72用于使锁紧转杆25同步旋转; 所述自离心机构72包括相互啮合的第一锥齿轮726和第二锥齿轮727,其中,第一锥齿轮726固定设置在驱动电机5的动力输出轴上,第二锥齿轮727通过防翻转机构73安装有转动设置在离心架71上的转轴721,防翻转机构73用于保持动力的单向传递,所述自离心机构72还包括固定设置在离心架71上的且开设有槽口的安装竖板724,所述安装竖板724的槽口内通过第一弹簧722滑动设置有安装块723,其中一组所述锁紧转杆25和所述安装块723与转轴721之间分别通过同步带轮共同套接安装牵拉同步带725,在通过锁紧机构2对特气喷头进行锁紧时,所述第一弹簧722用于使牵拉同步带725保持张紧动作; 所述驱动连接组件9还包括分离驱动机构92,在所述升降安装架10下降到位时,所述分离驱动机构92用于使锁紧机构2与锁紧驱动机构91分离,以通过自离心机构72实现对离心架71的整体旋转动作; 所述分离驱动机构92包括套设在第二连接杆914上的旋转接头924以及固定设置在旋转接头924上的分离调节板921,所述分离调节板921通过伸缩件与清洗箱体1的底部表面进行连接,所述清洗箱体1内壁表面通过支架923安装有滚轮922,且滚轮922转动设置在支架923上,在所述升降安装架10下降到位使齿盘915与齿条911分离时,所述滚轮922与分离调节板921的表面相抵。
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