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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利晶圆检测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119230440B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310801368.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆检测装置及方法是由吕晓晨设计研发完成，并于2023-06-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆检测装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆检测装置。该晶圆检测装置中，信号发射单元位于晶圆的第一表面一侧，向晶圆的边缘区域发射检测光束；第一信号接收单元位于晶圆的第二表面一侧，接收检测该检测光束透过晶圆和保护层产生的透射光束并输出透射信号；第二信号接收单元位于晶圆的第一表面一侧，接收检测该检测光束经晶圆和保护层反射产生的反射光束并输出反射信号；数据处理单元将接收到的透射信号和反射信号进行拟合形成复合信号；反馈控制单元根据复合信号确定晶圆切口的位置信息，并使切口停留在预设位置，实现晶圆的预对准。该晶圆检测装置能够满足表面粘贴有透明或半透明的保护层的晶圆的预对准需求。本发明还提供一种晶圆检测方法。

本发明授权晶圆检测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测装置，其特征在于，用于对表面形成有保护层的晶圆进行预对准，所述晶圆的边缘区域具有切口，所述保护层从所述晶圆的表面延伸覆盖所述切口所在的区域，且所述保护层为透明或半透明材料；所述晶圆检测装置包括： 信号发射单元，位于所述晶圆的第一表面一侧，用于向所述晶圆的边缘区域发射检测光束； 第一信号接收单元，位于所述晶圆的第二表面一侧，所述第二表面与所述第一表面的朝向相反，所述第一信号接收单元用于接收检测所述检测光束透过所述晶圆和所述保护层产生的透射光束，且输出透射信号； 第二信号接收单元，位于所述晶圆的第一表面一侧，用于接收检测所述检测光束经所述晶圆和所述保护层反射产生的反射光束，且输出反射信号； 数据处理单元，用于接收所述透射信号以及所述反射信号，将所述透射信号和所述反射信号进行拟合形成复合信号；以及 反馈控制单元，用于根据所述复合信号确定所述切口的位置信息，并使所述切口停留在预设位置，实现所述晶圆的预对准。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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