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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利装置特征特定边缘放置误差(EPE)获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119278352B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202380041065.8，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权装置特征特定边缘放置误差(EPE)是由A·玛纳森;N·古特曼;F·拉斯克;A·V·舒杰葛洛夫设计研发完成，并于2023-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本装置特征特定边缘放置误差(EPE)在说明书摘要公布了：本发明公开一种用于利用例如光学子系统的第二子系统产生计量测量的系统及方法。所述方法可包含执行训练及运行时间操作。所述训练可包含：接收来自第一计量子系统例如光学的用于装置特征的第一计量数据；产生第一计量测量例如关键尺寸等；基于所述第一计量测量将所述装置特征分级到两个或更多个装置块组中；及基于所述第一计量测量的分布来识别所述两个或更多个装置块组的代表性计量目标。所述运行时间操作可包含：接收所述代表性计量目标的运行时间计量数据例如光学；及基于所述运行时间计量数据产生运行时间计量测量。

本发明授权装置特征特定边缘放置误差(EPE)在权利要求书中公布了：1.一种计量系统，其包括： 第一计量子系统，其经配置以具有第一分辨率； 第二计量子系统，其经配置以具有低于所述第一分辨率的第二分辨率；及 一或多个控制器，其通信地耦合到所述第一计量子系统及所述第二计量子系统且包括经配置以执行程序指令的一或多个处理器，所述程序指令经配置以： 执行训练，所述训练包括： 接收来自所述第一计量子系统的用于多个装置特征的第一计量数据； 基于所述第一计量数据产生所述装置特征的第一计量测量； 基于所述第一计量测量将所述装置特征分级到两个或更多个装置块组中；及 基于所述第一计量测量的分布来识别所述两个或更多个装置块组的代表性计量目标，其中所述代表性计量目标中的每一者经选择以规定，基于用于所述代表性计量目标的来自所述第二计量子系统的第二计量数据的第二计量测量表示所述两个或更多个装置块组中的所述装置特征的所述第一计量测量；及 执行运行时间操作，所述运行时间操作包括： 接收来自所述第二计量子系统的在一或多个运行时间样本上的所述代表性计量目标的运行时间计量数据；及 基于所述运行时间计量数据产生所述一或多个运行时间样本上的所述代表性计量目标的运行时间计量测量。

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