先导薄膜材料(安徽)有限公司刘联平获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(安徽)有限公司申请的专利一种镍酸镧陶瓷靶材及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119350025B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411469746.7,技术领域涉及:C04B35/50;该发明授权一种镍酸镧陶瓷靶材及其制备方法是由刘联平;马国成;童培云;钟小华;高建成设计研发完成,并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种镍酸镧陶瓷靶材及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种镍酸镧陶瓷靶材及其制备方法,涉及镍酸镧陶瓷靶材技术领域,该制备方法的步骤为:湿法混合Ni2O3粉末和La2O3粉末,然后进行预合成得到LiNiOX陶瓷粉末,装模后置于真空热压烧结炉中进行预压,再进行热压真空烧结;通过固相合成后的镍酸镧陶瓷粉末直接在低温高压下热压烧结得到,在烧结阶段600‑800℃的保温阶段进行补压,避免了径向收缩的发生;到达烧结温度后,均匀温场的同时,采用较低的加压速率有效避免了靶材的开裂,使其晶粒组织均匀细小,最终制得的镍酸镧陶瓷粉末平面度相当平整,密度高,溅射性能优良。
本发明授权一种镍酸镧陶瓷靶材及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种镍酸镧陶瓷靶材的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: S1、湿法混粉 称取质量比为2:3-8的Ni2O3粉末和La2O3粉末,采用湿法混合研磨,得到混粉; S2:LaNiOX陶瓷粉末合成 将混粉置于合成炉内,进行预合成,在400-600℃通入氧气,合成温度800-1000℃,保温时间5-10h,合成结束后得到LaNiOX陶瓷粉末; S3:装模 根据模具尺寸裁剪石墨纸,将石墨纸放置于模具底部和内侧面,再将LaNiOX陶瓷粉末平铺于模具中并铺平; S4:预压 将装有混粉的石墨模具置于真空热压烧结炉中升压至6-10MPa,之后保压10-15min后泄去压力至压力为零; S5:热压烧结 抽真空至5Pa以下后开始升温,以8-10℃min的升温速率升温至600-800℃,然后调节升温速率为5-8℃min并升温至900-1100℃,保温30-60min;保温结束后,以0.1-0.3MPamin的加压速率加压至20-25MPa,保温保压90-150min,最后随炉降温至100-200℃,结束后即得到LaNiOX陶瓷靶坯; S6:机加工 去除LaNiOX陶瓷靶坯上的石墨纸,按照图纸要求进行磨床、CNC加工,机加工至尺寸合格的靶材,进行相关缺陷、密度测试,无异常后真空打包,得到LaNiOX陶瓷靶材。
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