买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海琮光半导体科技有限公司申请的专利一种光刻机校准机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119439638B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411492120.8，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光刻机校准机构是由蒋平;陈新宏;刘康设计研发完成，并于2024-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻机校准机构在说明书摘要公布了：本发明提供一种光刻机校准机构，包括调节底板、调节顶板、支撑球、第一调节螺钉、第二调节螺钉、拉簧组件、升降块和用于放置标准板的支撑板；调节顶板位于调节底板的上方，支撑球夹设于调节底板和调节顶板之间，调节顶板上开设有第一螺纹孔和第二螺纹孔，调节底板对应第一螺纹孔、第二螺纹孔的位置设置有第一限位槽、第二限位槽，第一调节螺钉穿设于第一螺纹孔并抵接于第一限位槽，第二调节螺钉穿设于第二螺纹孔并抵接于第二限位槽，调节顶板通过拉簧组件与调节底板连接；升降块沿垂直于调节顶板方向可升降地安装于调节顶板上，支撑板绕垂直于调节顶板方向可旋转地安装于升降块上。能够快速、准确地将标准板调整至光刻机镜头的焦面处。

本发明授权一种光刻机校准机构在权利要求书中公布了：1.一种光刻机校准机构，其特征在于，包括调节底板1、调节顶板2、支撑球3、第一调节螺钉4、第二调节螺钉、拉簧组件、升降块6、自定心锁紧螺钉8和用于放置标准板9的支撑板7； 调节顶板2位于调节底板1的上方，支撑球3夹设于调节底板1和调节顶板2之间的固定位置，调节顶板2上开设有第一螺纹孔21和第二螺纹孔，调节底板1对应第一螺纹孔21的位置设置有第一限位槽11，调节底板1对应第二螺纹孔的位置设置有第二限位槽12，第一调节螺钉4穿设于第一螺纹孔21并抵接于第一限位槽11，第二调节螺钉穿设于第二螺纹孔并抵接于第二限位槽12，调节顶板2通过拉簧组件与调节底板1连接；第一调节螺钉4、第二调节螺钉和支撑球3呈三角形分布，并且第一调节螺钉4和支撑球3之间的距离，与第二调节螺钉和支撑球3之间的距离相等；旋拧第一调节螺钉4和第二调节螺钉，调节顶板2绕支撑球3做俯仰动作；升降块6沿垂直于调节顶板2方向可升降地安装于调节顶板2上，支撑板7绕垂直于调节顶板2方向可旋转地安装于升降块6上； 调节顶板2上开设有安装孔24，调节底板1对应安装孔24的位置设置有螺纹槽14，自定心锁紧螺钉8能够穿设于安装孔24并螺纹连接于螺纹槽14；安装孔24具有环状台阶面25，自定心锁紧螺钉8具有环状限位面81，自定心锁紧螺钉8穿设于安装孔24，限位面81与台阶面25在上下方向上相抵接，阻止自定心锁紧螺钉8沿安装孔24继续向下移动；限位面81和台阶面25为形状相适配的球体上的曲面； 调节顶板2上具有安装轴26，安装轴26具有由上至下依次连接的第一轴段27和第二轴段28，第一轴段27的直径小于第二轴段28的直径，第二轴段28的外表面上开设有螺纹；升降块6上开设有轴孔，轴孔具有由上至下依次连接的第一孔部和第二孔部，第一孔部的直径小于第二孔部的直径，第二孔部的内表面上开设有螺纹；安装轴26插入轴孔，第二孔部与第二轴段28螺纹连接，第一轴段27插入第一孔部形成间隙配合。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海琮光半导体科技有限公司，其通讯地址为：200940 上海市宝山区长江路43号闿和长江源2A101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。