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龙图腾网获悉江苏海洋大学申请的专利一种极紫外光刻投影曝光光学系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119472184B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411570497.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种极紫外光刻投影曝光光学系统及方法是由鹿国庆;周楚钦;偶翔飞设计研发完成，并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种极紫外光刻投影曝光光学系统及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及投影光学技术领域，尤其是一种极紫外光刻投影曝光光学系统及方法，本发明提供的紫外光刻投影曝光光学系统包括光场均匀性调整模块，光场均匀性调整模块分别与光束生成模块以及光束整形模块信号连接；光场均匀性调整模块用于获取光束整形模块输出的极紫外光束光强分布数据；还用于根据光强分布数据，调整光束生成模块的输出功率，使得功率调整后光束整形模块输出的极紫外光束光强分布数据中最低光强不低于目标光强；还用于根据功率调整后光束整形模块输出的极紫外光束光强分布数据，调整极紫外光束整形模块中渐变衰减片的透光率，使得透过率调整后光束整形模块输出的极紫外光束光强分布数据中任两位置的光强差不超过差值限定范围。

本发明授权一种极紫外光刻投影曝光光学系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种极紫外光刻投影曝光光学系统，包括光束生成模块、光束整形模块以及光束投影模块，所述光束生成模块用于生成极紫外光束，所述光束整形模块用于调整所述极紫外光束，所述光束投影模块用于将调整后的极紫外光束投射至目标表面，其特征在于，还包括： 光场均匀性调整模块，所述光场均匀性调整模块分别与所述光束生成模块以及所述光束整形模块信号连接； 所述光场均匀性调整模块用于获取所述光束整形模块输出的极紫外光束光强分布数据； 所述光场均匀性调整模块还用于根据所述光强分布数据，调整所述光束生成模块的输出功率，使得功率调整后所述光束整形模块输出的极紫外光束光强分布数据中最低光强不低于目标光强； 所述光场均匀性调整模块还用于根据功率调整后所述光束整形模块输出的极紫外光束光强分布数据，调整所述极紫外光束整形模块中渐变衰减片的透光率，使得透过率调整后所述光束整形模块输出的极紫外光束光强分布数据中任两位置的光强差不超过差值限定范围。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏海洋大学，其通讯地址为：222005 江苏省连云港市海州区苍梧路59号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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