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龙图腾网获悉中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请的专利一种四质量体机械放大式MEMS陀螺仪获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119492365B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311053413.1，技术领域涉及：G01C19/5642；该发明授权一种四质量体机械放大式MEMS陀螺仪是由陈方;周景川设计研发完成，并于2023-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种四质量体机械放大式MEMS陀螺仪在说明书摘要公布了：本发明提供一种MEMS陀螺仪，该MEMS陀螺仪包括：衬底、器件层、驱动结构、驱动电极结构、检测结构、检测梁及检测电极单元，其中器件层固定于衬底上且包括多个相互连接且呈阵列排布的结构单元；驱动结构位于结构单元中且包括质量体、驱动框架、弹性梁、第一折叠梁、第一组合梁、第二组合梁及第三组合梁；驱动电极结构位于结构单元中且包括第一电容、第二电容及第三电容；检测结构位于结构单元中且包括检测框架及可动电极框架；检测梁位于结构单元中且与可动电极框架连接，其交叉端点连接质量体；多个检测电极单元位于检测框架内部区域，包括呈阵列排布的第四电容、第五电容、第六电容与第七电容。本发明的MEMS陀螺仪提升了机械灵敏度。

本发明授权一种四质量体机械放大式MEMS陀螺仪在权利要求书中公布了：1.一种四质量体机械放大式MEMS陀螺仪，其特征在于，包括： 衬底； 器件层，固定于所述衬底上，所述器件层中包括多个相互连接且呈阵列排布的结构单元； 驱动结构，位于所述结构单元中且包括质量体、驱动框架、弹性梁、第一折叠梁、第一组合梁、第二组合梁及第三组合梁，所述质量体沿Y轴方向的两侧设有多个弹性梁，所述质量体通过所述弹性梁连接至所述驱动框架，所述第一组合梁位于所述质量体背离X轴方向的一侧并与所述驱动框架相连接，且所述第一组合梁通过所述第一折叠梁连接至平衡杆，所述第二组合梁位于所述质量体沿X轴方向的一侧，所述质量体中环绕所述第三组合梁，X轴与Y轴相互垂直； 驱动电极结构，位于所述结构单元中且包括位于所述第一折叠梁沿Y轴方向两侧且分别与所述驱动框架连接的第一电容、第二电容，以及位于所述第二组合梁沿X轴方向一侧的第三电容； 检测结构，位于所述结构单元中且包括与所述平衡杆相连接的检测框架以及通过第二折叠梁与所述检测框架相连接的可动电极框架； 检测梁，位于所述结构单元中且与所述可动电极框架沿X轴方向的一侧相连接，所述检测梁的交叉端点通过单梁以及第三组合梁连接至所述质量体，所述检测梁的形状包括V型，所述检测梁的第一梁臂与第二梁臂之间的夹角范围为20度~40度； 多个检测电极单元，位于所述检测框架内部区域且与可动电极框架连接，所述检测电极单元包括呈阵列排布的第四电容、第五电容、第六电容与第七电容，其中，所述器件层中包括四个相互连接且呈矩形式排列的结构单元，沿X轴方向排列的两个所述结构单元关于所述衬底沿Y轴方向的中心线对称分布，沿Y轴方向排列的两个所述结构单元关于所述衬底沿X轴方向的中心线对称分布，沿X轴方向排列的相邻两个所述结构单元之间通过共用第三折叠梁相连接，沿Y轴方向排列的相邻两个所述结构单元之间通过共用所述平衡杆相连接，沿Y轴方向排列的两个所述结构单元中的所述检测梁通过与所述检测梁连接的第四折叠梁相连接。

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