捷群电子科技(淮安)有限公司汪平获国家专利权
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龙图腾网获悉捷群电子科技(淮安)有限公司申请的专利一种电阻基板溅射公自转装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119640218B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411847252.8,技术领域涉及:C23C14/34;该发明授权一种电阻基板溅射公自转装置是由汪平;白程文;朱婷设计研发完成,并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电阻基板溅射公自转装置在说明书摘要公布了:本发明属于电阻基板技术领域,且公开了一种电阻基板溅射公自转装置,包括溅射箱体,溅射箱体的正面设置有密闭盖,溅射箱体的顶部设置有第一电机,第一电机的输出轴传动连接有辅助架体,辅助架体的底部设置有增固套,增固套的一端部套设有包裹套,溅射箱体的一侧设置有导向机构,溅射箱体的另一侧设置有收集箱,通过设置的包裹套、滚球、抗压座、圆槽、加固槽和加固柱的配合,氩气通过导向机构引入到溅射箱体的内部,氩离子撞击靶材时,会使靶材表面原子被激发并飞出,包裹套底部设置的滚球能够辅助转动,减少摩擦力,降低转动时的能量损耗,改善旋转平稳性,并有效减小装置的启动和运行阻力,提高了装置的公转效率。
本发明授权一种电阻基板溅射公自转装置在权利要求书中公布了:1.一种电阻基板溅射公自转装置,包括溅射箱体1,其特征在于:所述溅射箱体1的正面设置有密闭盖2,所述溅射箱体1的顶部设置有第一电机8,所述第一电机8的输出轴传动连接有辅助架体7,所述辅助架体7的底部设置有增固套21,所述增固套21的一端部套设有包裹套22,所述溅射箱体1的一侧设置有导向机构3,所述溅射箱体1的另一侧设置有收集箱4,所述收集箱4的一侧设置有真空泵5,所述辅助架体7的顶部设置有多个第二电机9,多个所述第二电机9的输出轴均传动连接有辅助筒10,多个所述辅助筒10的外壁均设置有多个贴合板11,多个所述贴合板11的一侧均设置有基板15,所述溅射箱体1的内部设置有抗压座26,多个所述贴合板11的一侧均设置有防护板12,多个所述防护板12的一侧均设置有两个弧形块13,多个所述基板15的一侧均开设有两个第一限位孔16,多个所述弧形块13的一侧均设置有第一限位螺栓14,多个所述贴合板11的一侧均开设有两个第二限位孔20,多个所述第一限位螺栓14的一端分别与多个第一限位孔16的内部螺纹连接,多个所述弧形块13的另一侧均固定安装有固定板17,多个所述固定板17的一侧均活动铰接有活动板18,多个所述活动板18的一侧均设置有第二限位螺栓19,多个所述第二限位螺栓19的一端分别与多个第二限位孔20的内部螺纹连接,所述溅射箱体1的底部设置有耐磨座29,多个所述基板15分别在多个贴合板11的一侧活动。
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