广州增芯科技有限公司陈勇彬获国家专利权
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龙图腾网获悉广州增芯科技有限公司申请的专利电容式加速度传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119667199B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411772208.5，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权电容式加速度传感器及其制备方法是由陈勇彬;张茜设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本电容式加速度传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种电容式加速度传感器及其制备方法，该方法通过在第一衬底的表面依次形成第一金属层、第一介质层、牺牲层以及结构层，将第二衬底与第一衬底的结构层表面键合，在第二衬底表面形成贯穿第二衬底直至第一介质层的第一支撑孔柱，以及贯穿第二衬底直至第一金属层的第二支撑孔柱，在第二衬底上形成应变结构，应变结构的中心设置在所述第二支撑孔柱上，应变结构表面具有若干第一凹陷，对第一凹陷的底部进行刻蚀，形成牺牲孔，通过牺牲孔释放牺牲层，形成空腔，使得本发明只需要一次键合即可形成传感器，可控性较高，且形成的应变结构中心底下有支撑孔柱，使得应变结构的摆动梁能在很小的位移下产生较大的电容变化，提升了传感器的精度。
本发明授权电容式加速度传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种电容式加速度传感器的制备方法，其特征在于，包括： S1：提供第一衬底以及第二衬底； S2：在所述第一衬底的表面依次形成第一金属层、第一介质层、牺牲层以及结构层； S3：将所述第二衬底与所述第一衬底的所述结构层表面键合； S4：在所述第二衬底表面形成第一支撑孔柱，所述第一支撑孔柱贯穿所述第二衬底直至所述第一介质层； S5：在所述第二衬底表面形成第二支撑孔柱，所述第二支撑孔柱贯穿所述第二衬底直至所述第一金属层； S6：在所述第二衬底上形成应变结构，所述应变结构的中心设置在所述第二支撑孔柱上，所述应变结构表面具有若干第一凹陷，所述应变结构包括排骨状摆动梁和梳状固定梁，所述固定梁位于所述摆动梁两侧，所述固定梁的梳齿与所述摆动梁的分支平行交错设置； S7：以所述牺牲层为刻蚀停止层，对所述第一凹陷的底部进行刻蚀，形成所述牺牲孔； S8：通过所述牺牲孔释放所述牺牲层，形成空腔。
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