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龙图腾网获悉丰联科光电(洛阳)股份有限公司申请的专利一种硅钼合金靶材制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119703080B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411970309.3，技术领域涉及：B22F3/105；该发明授权一种硅钼合金靶材制备方法是由李帅方;李波波;陈亚光;金松来;丁杏茹;杨丹;姜中霄设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅钼合金靶材制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及复合树脂制备技术领域，且公开了一种硅钼合金靶材制备方法，包括以下步骤：原料准备，选纯度不低于99.9％的钼粉、硅粉，混合处理，将原料放真空混料机，抽真空至0.01‑0.1Pa，搅拌1‑5小时，超声辅助，温控在25‑40℃防氧化，成型工艺，混合粉装入涂0.05‑0.2mm氮化硼涂层的可拆卸硬质合金模具，冷压成型，保压5‑20分钟得素坯，烧结过程，素坯入真空烧结炉，先微波辅助加热，再升温至1500‑1800℃，后期通微量氩气调控结构，后处理工序，对烧结靶材数控加工，氢氟酸与硝酸混合液化学清洗，再等离子体处理，最后真空包装充高纯氮气。本发明原料高纯度、粒度优；混合均匀、防氧化；成型烧结精准控参，保障靶材质量；后处理提升表面性能、包装隔氧防潮，使靶材满足高端产业需求。

本发明授权一种硅钼合金靶材制备方法在权利要求书中公布了：1.一种硅钼合金靶材制备方法，其特征在于，包括以下步骤： S1、原料准备：选用纯度不低于99.9%的金属钼粉，粒度为1-10μm，采用气流粉碎与分级筛选技术制备，以及纯度不低于99.9%的硅粉，粒度为0.5-5μm，通过化学气相沉积法制备，按硅含量质量分数10%-50%称量； S2、混合处理：将称量好的钼粉与硅粉置于真空混料机内，抽真空至0.01-0.1Pa，以100-500转分钟的转速搅拌1-5小时，采用超声波辅助分散，超声频率为20-60kHz，且超声波发生器具备智能频率调节功能，根据粉末混合状态实时调整，使粉末充分混合均匀，同时混料机内部设有温度控制系统，混合过程中温度控制在25-40°C，利用循环水冷却系统精准控温，防止粉末因摩擦过热氧化； S3、成型工艺：把混合均匀的粉末装入模具，模具内壁涂覆氮化硼涂层，涂层厚度为0.05-0.2mm，采用热喷涂工艺制备，涂层结合力强，在300350MPa的压力下冷压成型，保压时间5-20年分钟，冷压设备配备压力传感器与自动补偿系统，得到素坯，模具为拆卸式结构，便于脱模，模具材质为硬质合金，硬度不低于HRA85，模具表面经离子注入处理； S4、烧结过程：将素坯放入真空烧结炉，先以5-15°C分钟的升温速率升温至1000-1200°C，保温1-3小时，采用微波辅助加热，使素坯受热均匀，再以2-8°C分钟的升温速率升温至1500-1800°C，保温2-6小时，烧结全程真空度维持在0.001-0.01Pa，之后随炉冷却；真空烧结炉内配备有气氛控制系统，在烧结后期可通入微量氩气，氩气流量为1-5mlmin，利用气体流量自动调节阀精准控制，调节靶材内部组织结构； S5、后处理工序：对烧结后的靶材进行机械加工，采用数控加工设备，加工精度控制在±0.05-±0.2mm，加工刀具选用聚晶金刚石刀具，然后进行化学清洗，采用氢氟酸与硝酸混合溶液，氢氟酸浓度为5%-15%，硝酸浓度为10%-25%，清洗时间10-30分钟，在超声振荡辅助下进行，去除表面杂质，化学清洗后还进行等离子体处理，采用氩气等离子体，功率为100-500W，下处理时间为5-15分钟，等离子体处理设备配备射频匹配网络，自动优化放电参数，最后进行真空包装，包装内充入高纯氮气，氮气纯度不低于99.99%，采用真空充氮包装机。

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