合肥芯碁微电子装备股份有限公司赵祥宝获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119805889B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510225750.7，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机是由赵祥宝;蔡志鸿设计研发完成，并于2025-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机在说明书摘要公布了：本发明公开了一种LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机，LDI曝光机包括用于拉动基板运动的运动平台和多个对准相机，多个对准相机沿所述基板的宽度方向呈一字排列，运动平台位于多个对准相机的下方，对位方法包括：获取关于定位点的GDS图纸信息；根据GDS图纸信息确定每个对准相机所对应的最优采集路径；根据每个对准相机所对应的最优采集路径控制每个对准相机；控制运动平台在基板的起点与基板的终点之间进行往返运动，直至对准相机完成对所有定位点的图像采集；根据所有图像信息确定每个定位点的定位点图像信息；根据每个定位点的定位点图像信息进行对位。采用该对位方法可以在基板上定位点分区多时最大程度地提升LDI曝光机的对位速度，避免相机冗余的问题。
本发明授权LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机在权利要求书中公布了：1.一种LDI曝光机的对位方法，其特征在于，所述LDI曝光机包括用于拉动基板运动的运动平台和多个对准相机，多个对准相机沿所述基板的宽度方向呈一字排列，所述运动平台位于多个对准相机的下方，所述对位方法包括： 获取关于定位点的GDS图纸信息； 根据所述GDS图纸信息确定每个对准相机所对应的最优采集路径； 根据每个对准相机所对应的最优采集路径控制每个对准相机； 控制所述运动平台在所述基板的起点与所述基板的终点之间进行往返运动，直至所述对准相机完成对所有定位点的图像采集，其中，在确定所述运动平台的实时移动距离每达到拍摄间隔距离时则触发一次图像采集信号，所述图像采集信号用于指示多个对准相机同步采集图像信息； 根据所有图像信息确定每个定位点的定位点图像信息； 根据每个定位点的定位点图像信息进行对位。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥芯碁微电子装备股份有限公司，其通讯地址为：230088 安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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