中山大学林旭东获国家专利权
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龙图腾网获悉中山大学申请的专利一种基于LSTM的多表面相移干涉测量方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119935007B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411790660.4,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权一种基于LSTM的多表面相移干涉测量方法及系统是由林旭东;谭钰洋;李明;王锦浩;吴先霖;韩西达设计研发完成,并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于LSTM的多表面相移干涉测量方法及系统在说明书摘要公布了:本发明属于光学精密测量领域,提出一种基于LSTM的多表面相移干涉测量方法及系统,包括:将测试镜放置在距离参考镜的α处,在进行波长调谐时,对干涉仪光路以预设采样时序进行采样,基于中心波长计算所述第一干涉腔、第二干涉腔和第三干涉腔对应的相位,基于所述相位计算干涉仪接收端的光强,得到光强矩阵;将所述光强矩阵作为训练数据集,相位作为标签输入基于LSTM的神经网络中进行训练,训练完成后得到解算网络;将待测镜放置在距离参考镜的α处,采集干涉图样照片并转换为灰度矩阵,将所述灰度矩阵输入所述解算网络,得到相位值,对所述相位值进行解包裹,得到待测镜的面形图。相较于现有技术,本发明提出了一种在不理想相移条件下准确重构面形的方法。
本发明授权一种基于LSTM的多表面相移干涉测量方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种基于LSTM的多表面相移干涉测量方法,其特征在于,包括以下步骤: 将测试镜放置在距离参考镜的α处,干涉光路依次穿过所述参考镜、测试镜的第一平面和测试镜的第二平面;其中,所述参考镜与测试镜的第一平面之间构成第一干涉腔;所述参考镜与测试镜的第二平面之间构成第二干涉腔;所述测试镜的第一平面和第二平面构成第三干涉腔; 在进行波长调谐时,对干涉仪光路以预设采样时序进行采样,基于中心波长计算所述第一干涉腔、第二干涉腔和第三干涉腔对应的相位,基于所述相位计算干涉仪接收端的光强,得到光强矩阵; 将所述光强矩阵作为训练数据集,将光强矩阵对应的第一干涉腔的相位作为标签输入基于LSTM的神经网络中进行训练,训练完成后得到解算网络; 将待测镜放置在距离参考镜的α处,采集干涉图样照片并转换为灰度矩阵,将所述灰度矩阵输入所述解算网络,得到相位值,对所述相位值进行解包裹,得到待测镜的面形图。
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