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龙图腾网获悉郑州大学申请的专利一种具有仿钟乳石形阵列微结构的柔性压力传感器及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120027945B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510170865.0，技术领域涉及：G01L1/22；该发明授权一种具有仿钟乳石形阵列微结构的柔性压力传感器及其制作方法是由聂帮帮;张昊;崔腾科;向丽丽;于亿涵;于攀登;朱善文;王金雨;卫荣汉设计研发完成，并于2025-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有仿钟乳石形阵列微结构的柔性压力传感器及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种具有仿钟乳石形阵列微结构的柔性压力传感器及其制作方法，首先，使用激光烧蚀的方法制作所需模具，然后在模具上先刮涂碳纳米管，再浇筑PDMS混合物，随后对其进行抽真空处理并静置，使其固化成型，经翻模处理后，将PDMS仿钟乳石形阵列结构与叉指电极面对面组装，并将电极两端连接导线，从而制得有仿钟乳石形阵列微结构的柔性压力传感器。该传感器的仿钟乳石形微结构能够使其在不同压力环境下表现出优异的变形响应，在0.18‑120kPa的范围内展现出0.71kPa‑1的高灵敏度，在208‑355kPa的范围内灵敏度为0.25kPa‑1；并且也具有0.18‑355kPa的宽检测范围，从轻柔的触摸到强烈的压力冲击都能够准确响应。

本发明授权一种具有仿钟乳石形阵列微结构的柔性压力传感器及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种具有仿钟乳石形阵列微结构的柔性压力传感器的制作方法，其特征在于，具有以下步骤： 步骤S1：首先制作一种模具，模具表面上有激光烧蚀产生的阵列分布的孔； 步骤S2：取碳纳米管溶液滴在模具表面并用刮板刮涂均匀，确保溶液完全覆盖在模具上； 步骤S3：将涂有碳纳米管溶液的模具放在80℃真空干燥机中烘干30分钟； 步骤S4：将PDMS聚二甲基硅氧烷本体和固化剂按照10：1的比例混合均匀，然后放入真空干燥机进行真空脱泡处理； 步骤S5：将真空处理好的PDMS混合物浇筑在附有碳纳米管的模具上，并放入真空干燥机再次进行抽真空处理30分钟，然后取出并静置10-12小时，使其完全与模具相贴合； 步骤S6：待PDMS混合物完全固化成型后，将其从模具上揭下并修剪，只保留含仿钟乳石形阵列结构凸起的部分，得到传感器敏感层； 步骤S7：使用干法刻蚀的方法在硅片表面刻蚀出具有叉指电极图案的沟道； 步骤S8：在图案化的硅片表面浇筑一定量的PDMS本体与固化剂比例10:1，真空脱泡处理40-50分钟，得到电极图案的PDMS表面凸起模板； 步骤S9：使用NOA紫外固化胶水滴在PET薄膜表面，随后将PDMS模板表面凸起的部分压在紫外固化胶水表面，使用紫外灯照射5-10分钟，得到叉指电极沟道； 步骤S10：用刮板将碳纳米管水溶液刮涂在叉指电极沟道中，放入烘箱干燥10-20分钟得到沟道电极； 步骤S11：将PDMS仿钟乳石形阵列结构与叉指电极面对面组装，电极两端分别与导线连接，从而制得有仿钟乳石形阵列微结构的柔性压力传感器。

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