东南大学;南京集成电路设计自动化技术创新中心李怡宁获国家专利权
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龙图腾网获悉东南大学;南京集成电路设计自动化技术创新中心申请的专利一种场效应管寄生电阻提取方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120124552B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510192858.0,技术领域涉及:G06F30/36;该发明授权一种场效应管寄生电阻提取方法是由李怡宁;杨兰兰;屠彦;黄铭熙设计研发完成,并于2025-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种场效应管寄生电阻提取方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种场效应管寄生电阻提取方法,包括建立场效应管TCAD模型并计算求解器件在线性工作区工作状态下的载流子特性分布;初步设定划分参数,对所需求解寄生电阻的区域进行平行划分;由先前求解得到的器件载流子特性分布,对于初步划分得到的各细分区域内的载流子浓度、载流子迁移率和电荷量的乘积进行积分求得各细分区域的电导率;将所求得各细分区域电导率进行合并求解得到所需求解区域的整体电阻;进一步增大划分参数,对所需求解寄生电阻区域进行更细化的平行划分并重复上述操作,直至两次循环间求解得到的电阻值相差不大于精度需求。本发明的方法对于器件内部载流子分布无限制,有利于小尺寸场效应管寄生电阻波动效应的计算。
本发明授权一种场效应管寄生电阻提取方法在权利要求书中公布了:1.一种场效应管寄生电阻提取方法,其特征在于,该方法包括以下步骤: 步骤1,建立目标器件场效应管TCAD模型并计算求解该场效应管在线性工作区工作状态下的载流子特性分布,并根据实际需求确定求解区域的相对误差上限δ; 步骤2,初步设定划分参数为n1,对所需求解寄生电阻的区域进行平行划分; 步骤3,由步骤1中求解得到的目标器件载流子特性分布,以及步骤2中对于所需求解寄生电阻的区域进行平行划分的结果,将步骤1中求得的目标器件内部载流子、载流子迁移率分布集按照子区域的划分方式划分为每个子区域对应的子集,对于各自子集内部载流子、载流子迁移率值的乘积进行积分求得各细分区域的电导率; 步骤4,将步骤3中所求得各细分区域电导率进行合并求解得到所需求解区域的整体电阻;具体步骤为:将步骤3中所求得各细分区域电导率进行合并求解的具体为:首先求解各部分子区域电导率的平均值σaverage对于各子区域中求解得到的电导率进行筛选分类,筛选出电导率不远低于电导率总值平均值的子区域集对应电导率为将剩余求解得到电导率远低于电导率总值平均值的子区域分别向电导率不远低于电导率总值平均值的子区域合并,得到最终根据求解区域电导率分布做出的区域划分策略每个新划分的子区域对应的长度为对应的电导率为其中1≤j≤k1;k1是新划分子区域的数量值;Lj为第j个新划分子区域的长度;合并策略根据实际器件的电导率情况在向前合并、向后合并与居中合并三种方法中进行选择调整以获取最精确的计算结果; 步骤5,进一步增大划分参数为n2,对所需求解寄生电阻区域进行更细化的平行划分; 步骤6,重复步骤3-5直至两次循环间求解得到的电阻值相差不大于相对误差上限δ。
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