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龙图腾网获悉矽电半导体设备(深圳)股份有限公司申请的专利探针台及测试系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120507548B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510999202.X，技术领域涉及：G01R1/067；该发明授权探针台及测试系统是由吴贵阳;王胜利;李景均设计研发完成，并于2025-07-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本探针台及测试系统在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体测试设备技术领域，提出了一种探针台及测试系统，探针台包括测试架、载片台模组、探针模组和图像采集模组，探针台包括一体成型的架体和安装台，沿Z轴方向，架体设有贯通的容置腔，安装台设有连通容置腔的通槽，安装台位于架体的上侧并部分覆盖容置腔；载片台模组位于容置腔中，载片台模组包括第一驱动组件和载片台，第一驱动组件与架体连接，载片台与第一驱动组件连接；探针模组包括第二驱动组件和探针，第二驱动组件与安装台连接，探针与第二驱动组件连接；图像采集模组与安装台连接，图像采集模组包括采集部，采集部位于通槽的上方。测试系统包括至少两个上述探针台。本申请的探针台及测试系统能够提高测试精度和可靠性。

本发明授权探针台及测试系统在权利要求书中公布了：1.一种探针台，其特征在于，包括： 测试架，包括一体成型的架体和安装台，沿Z轴方向，所述架体设有贯通的容置腔，所述安装台设有通槽，所述安装台位于所述架体的上侧并部分覆盖所述容置腔，所述通槽连通所述容置腔； 载片台模组，位于所述容置腔中，所述载片台模组包括第一驱动组件和载片台，所述第一驱动组件包括X轴移动平台和Y轴移动平台，所述载片台与所述X轴移动平台连接，沿X轴方向，所述X轴移动平台与所述Y轴移动平台可移动连接，沿Y轴方向，所述Y轴移动平台与所述架体可移动连接，沿所述Z轴方向，所述X轴移动平台位于所述Y轴移动平台与所述载片台之间，沿所述X轴方向，所述Y轴移动平台相对的两侧与所述架体相对的两侧一一对应可移动连接，所述X轴方向、所述Y轴方向和所述Z轴方向两两相互垂直； 两个探针模组，沿所述X轴方向，所述通槽的两端分别设置安装槽，所述探针模组包括第二驱动组件和探针，所述第二驱动组件与所述安装台连接，两所述第二驱动组件一一对应安装于所述安装槽内，所述探针连接于所述第二驱动组件的输出端，所述第二驱动组件用于驱动所述探针沿所述Z轴方向移动，以使所述探针能够由所述通槽进入或退出所述容置腔； 图像采集模组，与所述安装台连接，所述图像采集模组包括采集部，所述采集部位于所述通槽的上方。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人矽电半导体设备(深圳)股份有限公司，其通讯地址为：518172 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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