杭州电子科技大学;西湖大学光电研究院吕未获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州电子科技大学;西湖大学光电研究院申请的专利基于结构形变的氧化铝表面波导和表面传感器及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120669348B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511164013.7,技术领域涉及:G02B6/122;该发明授权基于结构形变的氧化铝表面波导和表面传感器及制备方法是由吕未;仇旻;赵鼎;陈瑞溢;赵文生设计研发完成,并于2025-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于结构形变的氧化铝表面波导和表面传感器及制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于结构形变的氧化铝表面波导和表面传感器及制备方法,包括:对由直线形改性区组成的端面为圆环的氧化铝内部波导进行结构形变,具体将氧化铝内部波导向氧化铝表面移动,在圆环氧化铝内部波导中去除氧化铝表面以上的直线形改性区,形成在氧化铝表面的U型环结构作为氧化铝表面波导,其中,端面垂直于氧化铝表面,圆环内半径为10‑25um;U型环结构顶部到氧化铝表面的距离为1‑10um,且当去除氧化铝表面以上的直线形改性区形成U型环结构时,还限定U型环结构底部到氧化铝表面的距离为圆环内半径的12‑32。通过优化激光直写的激光参数和工艺条件,实现高精度、高稳定性的氧化铝表面光波导制备,为光子器件的集成化和小型化提供新的技术手段。
本发明授权基于结构形变的氧化铝表面波导和表面传感器及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于结构形变的氧化铝表面波导,其特征在于,包括: 对由直线形改性区组成的端面为圆环的氧化铝内部波导进行结构形变,具体将氧化铝内部波导向氧化铝表面移动,在圆环氧化铝内部波导中去除靠近氧化铝表面或表面以上的直线形改性区,形成的U型环结构作为氧化铝表面波导,其中,端面垂直于氧化铝表面,圆环内半径为10-25um; 其中,控制调控激光束在氧化铝内的聚焦深度,对氧化铝实现不同深度的改性,形成每条直线形改性区; U型环结构顶部到氧化铝表面的距离为1-10um,且当去除氧化铝表面以上的直线形改性区形成U型环结构时,还限定U型环结构底部到氧化铝表面的距离为圆环内半径的12-32。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人杭州电子科技大学;西湖大学光电研究院,其通讯地址为:310018 浙江省杭州市杭州经济开发区白杨街道2号大街1158号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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