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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种高灵敏度定位的原子力显微镜检测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120741892B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511247471.7，技术领域涉及：G01Q60/24；该发明授权一种高灵敏度定位的原子力显微镜检测装置及方法是由刘东;王劭文;王狮凌;白剑设计研发完成，并于2025-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高灵敏度定位的原子力显微镜检测装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种高灵敏度定位的原子力显微镜检测装置及方法，包括暗场斜入射光源模块、开敞式的原子力扫描模块、显微成像系统以及用于放置样品的高精度运动平台；暗场斜入射光源模块为样品提供多角度的倾斜入射光源，形成暗场效果，使样品表面微纳缺陷的散射光被显微成像系统捕捉，实现高灵敏度定位；原子力扫描模块包括射频调制激光器、探针组件和光电探测器；激光器输出激光照射在探针组件上后反射到光电探测器中；样品为透明元件，通过对暗场斜入射光源模块入射样品的入射角、样品的折射率、显微成像系统的数值孔径NA的关系进行约束，使样品中心及边缘成像均满足暗场条件。利用本发明，可以在AFM检测过程中，准确定位微纳尺度表面缺陷。

本发明授权一种高灵敏度定位的原子力显微镜检测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种高灵敏度定位的原子力显微镜检测装置，其特征在于，包括暗场斜入射光源模块5、开敞式的原子力扫描模块、显微成像系统7以及用于放置样品8的高精度运动平台9； 所述的暗场斜入射光源模块5用于为样品8提供多角度的倾斜入射光源，形成暗场效果，使样品8表面微纳缺陷的散射光被显微成像系统7捕捉，实现高灵敏度定位； 所述原子力扫描模块包括射频调制激光器1、探针组件6和光电探测器3；所述射频调制激光器1输出激光照射在探针组件6上后反射到光电探测器3中； 所述样品8为透明元件，通过对暗场斜入射光源模块5照明样品8的入射角、样品的折射率、显微成像系统7的数值孔径NA的关系进行约束，使样品8中心及边缘成像均满足暗场条件；具体如下： ； ； 式中，为入射角对应的折射角；折射光打到样品背面及中间层表面发生反射，反射光打到样品侧壁的入射角度为，对应的折射角度为； 需满足或者；若，则在样品边缘附近成像仍满足暗场条件；若，则在样品边缘发生全反射，在样品的上表面出射，且角度为，仍满足暗场条件； 所述高精度运动平台9用于配合暗场斜入射光源模块5对样品8上的表面缺陷进行定位，以及配合原子力扫描模块对定位到的缺陷进行三维成像。

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