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龙图腾网获悉无锡星微科技有限公司申请的专利一种具有凸片检测功能的装载腔室结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120749045B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511240721.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种具有凸片检测功能的装载腔室结构是由陆敏杰;王兆昆;朱文银设计研发完成，并于2025-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有凸片检测功能的装载腔室结构在说明书摘要公布了：本发明公开了一种具有凸片检测功能的装载腔室结构，属于半导体检测技术领域，该腔室结构包括腔体，腔体设有允许晶圆进入和离开的进口和出口，腔体内设有托架组件，托架组件在晶圆移动路径两侧对称设置，用于共同支撑晶圆，腔体外设有激光传感器，激光传感器用于对晶圆移动方向的前后位置进行凸片检测。本发明能适用于晶圆在真空环境中的高效，稳定传输，解决现有真空传输系统中晶圆偏离托架而未被及时检测的技术问题。

本发明授权一种具有凸片检测功能的装载腔室结构在权利要求书中公布了：1.一种具有凸片检测功能的装载腔室结构，包括腔体1，其特征是：所述腔体1设有允许晶圆进入和离开的进口21和出口22，所述腔体1内设有托架组件3，所述托架组件3在晶圆移动路径两侧对称设置，用于共同支撑晶圆，所述腔体1外设有激光传感器4，所述激光传感器4用于对晶圆移动方向的前后位置进行凸片检测，所述进口21朝向与所述出口22朝向不同，使晶圆进入所述腔体1的路径，与晶圆离开所述腔体1的路径相交且存在夹角，所述夹角为钝角，各个所述托架组件3沿所述夹角的角平分线所在直线分布， 所述腔体1外设有转环7，所述转环7可绕其中心轴线旋转，所述转环7上安装有两个所述激光传感器4，两个所述激光传感器4沿所述转环7轴线所在平面对称设置，所述激光传感器4的激光发射方向朝向晶圆边缘区域；各个所述激光传感器4在两个所述托架组件3之间具有弧形的移动轨迹，该移动轨迹与晶圆在所述托架组件3上允许的最大活动范围边界在投影方向上共圆；所述转环7设有驱动其旋转的旋转机构；所述腔体1具有盖板11，所述盖板11上设有开孔，所述开孔内设有透明玻璃5，其中，所述开孔为环形通槽，所述透明玻璃5为环形，使激光的圆形轨迹能始终穿过所述透明玻璃5。

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