买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海隐冠半导体技术有限公司申请的专利一种运动机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120749070B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511157276.5，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种运动机构是由张东风;仇文军;吴火亮设计研发完成，并于2025-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种运动机构在说明书摘要公布了：本申请提供了一种运动机构，涉及半导体制造的技术领域。本申请提供的运动机构包括：底板、设于底板的上方的第一运动板、与第一运动板通过第一方向簧片模组相连接的第一驱动机构、设于第一运动板上方的第二运动板以及与第二运动板相连接的第二驱动机构；两个第一驱动机构用于通过对应的第一方向簧片模组驱动第一运动板相对于底板沿第一方向运动或者围绕第三方向转动；第二驱动机构用于驱动第二运动板相对于第一运动板沿第二方向运动；第二方向与第一方向垂直，第一方向和第二方向所在的平面与底板位于同一平面，第三方向垂直于第一方向和第二方向。

本发明授权一种运动机构在权利要求书中公布了：1.一种运动机构，其特征在于，包括：底板、设于所述底板的上方的第一运动板、与所述第一运动板通过第一方向簧片模组相连接的第一驱动机构、设于所述第一运动板上方的第二运动板以及与所述第二运动板相连接的第二驱动机构； 两个所述第一驱动机构用于通过对应的所述第一方向簧片模组驱动所述第一运动板相对于所述底板沿第一方向运动或者围绕第三方向转动； 所述第二驱动机构用于驱动所述第二运动板相对于所述第一运动板沿第二方向运动； 所述第二方向与所述第一方向垂直，所述第一方向和所述第二方向所在的平面与所述底板位于同一平面，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向； 所述第一方向簧片模组包括：与所述第一驱动机构相连接的第一方向补偿解耦机构以及连接所述第一方向补偿解耦机构和所述第一运动板的第一方向差动解耦机构； 所述第一方向补偿解耦机构被配置为：在所述第一方向上具有刚性，对于围绕所述第二方向上的旋转和围绕所述第三方向上的旋转具有柔性； 所述第一方向差动解耦机构被配置为：在所述第三方向上具有刚性，对于围绕所述第一方向的旋转和围绕所述第二方向的旋转具有刚性，对于围绕所述第三方向的旋转具有柔性。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海隐冠半导体技术有限公司，其通讯地址为：201206 上海市浦东新区自由贸易试验区金海路1000号47幢1楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。