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龙图腾网获悉湖北菲利华石英玻璃股份有限公司申请的专利一种低膨胀石英玻璃的熔制工艺及熔制装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120774636B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511228270.2，技术领域涉及：C03B19/14；该发明授权一种低膨胀石英玻璃的熔制工艺及熔制装置是由涂浩;刘志龙;刘俊龙;娄陈林;耿爱霞;李得军设计研发完成，并于2025-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种低膨胀石英玻璃的熔制工艺及熔制装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种低膨胀石英玻璃的熔制工艺及熔制装置，属石英玻璃生产技术领域。本发明中的工艺路径包括原料的高温水热解、熔融石英玻璃微液滴的生成、石英玻璃的沉积与融合工序，不涉及燃烧器和燃烧过程，本发明从低膨胀石英玻璃的终端需求出发，有效提高了低膨胀石英玻璃产品CTE的均匀性、避免了色斑的产生。本发明的熔制装置单体条件下可熔制尺寸约500mm直径的低膨胀石英玻璃产品，双体配置共用坩埚则可将熔制尺寸扩大至约700mm直径，三体配置熔制尺寸则可达800mm。单体条件下的低膨胀石英玻璃产品有效使用范围约85%内径范围内，Ti元素含量分布极差值可控制在0.07wt%以内；CTE波动范围可控制在15ppb以内。

本发明授权一种低膨胀石英玻璃的熔制工艺及熔制装置在权利要求书中公布了：1.一种低膨胀石英玻璃的熔制工艺，其特征在于：它包括以下步骤； 1首先将液体原料置于原料箱7中，同时开启熔制装置的加热器对雾化混合筒2、高温导流筒3和坩埚4进行预热； 2当雾化混合筒2、高温导流筒3和坩埚4预热温度分别达到800℃、1700℃、1750℃时，开启液流泵，在300-2000mlh的流量条件下，将原料箱7中的液体原料泵入雾化混合筒2内的雾化器6中；液体原料泵入的同时；开启连通管5上的闸阀，高温含水气体在30-60SLPM的条件下经连通管5进入雾化混合筒2； 3在雾化器6的作用下；进入雾化器6中的液体原料被雾化成细小的液滴并沿雾化混合筒2下行，下行的液滴与由连通管5同时进入雾化混合筒2内的800℃高温含水气体混合； 4液体原料雾化成的液滴与高温含水气体混合的过程中，液滴在高温含水气体的作用下发生水解反应：水解反应生成的复合固体颗粒物在高温含水气体的裹挟下继续下行，并经雾化混合筒2的下端口进入高温导流筒3； 5水解反应生成的复合固体颗粒物进入高温导流筒3并下行；这一过程中，高温无水气体在30-100SLPM的条件下由输气管10进入高温导流筒3与电热器之间的环空；并被加热至1700℃； 6加热至1700℃的高温无水气体由高温导流筒3顶部端口与雾化混合筒2之间的间隙，以及高温导流筒3圆周上的通孔进入至高温导流筒3内，从而在高温导流筒3内壁形成一层保护鞘气，以减少复合固体颗粒物在高温导流筒3内壁上的附着； 7在1700-1800℃的高温环境下，进入高温导流筒3并下行的复合固体颗粒被熔融为玻璃化的微小液滴； 8玻璃化液滴随高温气体在高温导流筒3内继续下行，经高温导流筒3下端的喷口喷向坩埚4，并在坩埚4内沉积形成玻璃熔体，冷却后形成石英碇产品；这一过程中，保护气体在100-300SLPM的条件下分别进入保护气体输入管11和安装套12，进入保护气体输入管11的保护气体经保护气体输入管11与高温导流筒3之间的间歇进入坩埚4，以对坩埚4顶部进行吹扫减少液滴在坩埚4顶部的附着，进入安装套12的保护气体用于保护坩埚内腔加热器13，以避免坩埚内腔加热器13受到氧化气氛的影响； 所述的液体原料为任意配比的含硅原料与含钛原料构成的混合液； 所述的含硅原料为八甲基环四硅氧烷、四氯化硅中的一种； 所述的含钛原料为四氯化钛、钛酸四异丙酯中的一种。

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