天府绛溪实验室陈颉颃获国家专利权
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龙图腾网获悉天府绛溪实验室申请的专利一种气相反应设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120818815B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511323044.2,技术领域涉及:C23C16/46;该发明授权一种气相反应设备是由陈颉颃;向勇;蒲星宏;蒋琰设计研发完成,并于2025-09-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气相反应设备在说明书摘要公布了:本发明涉及化学气相沉积领域,特别涉及一种气相反应设备,该气相反应设备通过将加热层内置于反应腔体,缩短热传导路径,加快响应速度,实现快速升温,提升加热效率。同时多层加热层间隔设置,加热层包括多根间隔设置的加热丝,且相邻加热层的加热丝之间成角度排列,从而能够促进湍流混合,提高传热效率,消除温度梯度,增强温度场均匀性。
本发明授权一种气相反应设备在权利要求书中公布了:1.一种气相反应设备,其特征在于:包括容纳反应气体的反应腔体,所述反应腔体的内部铺设有至少两个间隔分布的加热层,所述加热层沿同一方向平行设置,且每一所述加热层包括多根在同一平面上间隔设置的加热丝,且相邻所述加热层之间的所述加热丝成角度设置,所述加热丝包括石墨丝、镍铬合金丝、铁铬铝合金丝、硅碳丝中任一种或几种的组合;和或同一所述加热层中的所述加热丝的间距设置为间距X,所述加热丝的直径设为D,其中,间距X与直径D之间的关系是8D≤X≤12D;和或相邻层的加热层之间的层间距Z为20-150mm。
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