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龙图腾网获悉山东大学申请的专利一种碳化硅衬底中小型堆垛层错缺陷的多模态检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120820550B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511323879.8，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权一种碳化硅衬底中小型堆垛层错缺陷的多模态检测方法是由胡秀飞;侯新悦;陈秀芳;徐现刚;杨祥龙;谢雪健设计研发完成，并于2025-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种碳化硅衬底中小型堆垛层错缺陷的多模态检测方法在说明书摘要公布了：本发明属于碳化硅缺陷检测技术领域，具体涉及一种碳化硅衬底中小型堆垛层错缺陷的多模态检测方法，包括以下步骤：对待测碳化硅衬底进行光致发光成像，得到小型堆垛层错缺陷的候选区域；对所述候选区域进行显微光致发光光谱二维映射扫描，得到候选区域内光谱强度映射图像；构建多模态匹配模型，并对光谱强度映射图像和光致发光成像进行空间配准，通过计算加权像素重叠率确认单个小型堆垛层错缺陷；对单个小型堆垛层错缺陷进行显微光致发光光谱二维映射扫描，确定缺陷形貌与尺寸。该方法具有高灵敏度与高分辨率的优点，适用于大尺寸碳化硅衬底缺陷的快速检测与在线质量控制，具有良好工业应用前景。

本发明授权一种碳化硅衬底中小型堆垛层错缺陷的多模态检测方法在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅衬底中小型堆垛层错缺陷的多模态检测方法，其特征在于，包括以下步骤： 1对待测碳化硅衬底进行光致发光成像，得到小型堆垛层错缺陷的候选区域； 2对所述候选区域进行显微光致发光光谱二维映射扫描，得到光谱强度映射图像； 3构建多模态匹配模型对光谱强度映射图像和光致发光成像进行空间配准，通过计算像素重叠率确认单个小型堆垛层错缺陷； 其中，所述多模态图像匹配模型为二维仿射变换模型；还包括基于最小二乘法对光致发光成像进行几何变换，对光谱强度映射图像和光致发光成像进行空间位置匹配，具体为，选择大尺寸棒状SF的端点作为特征点，若样品无大尺寸缺陷，则人工标记晶片边缘的激光刻号作为特征点，记录每对特征点在两幅图像中像素的坐标，将特征点像素坐标代入二维仿射变换的多模态匹配模型，通过特征点校准实现像素级空间对齐，通过最小二乘法求解向量p，完成空间配准； 其中，还包括通过计算加权像素重叠率确认单个小型堆垛层错缺陷；所述加权像素重叠率的计算方法如下：根据像素点在缺陷区域中的空间位置分配不同权重，匹配像素进行加权求和后，结合总权重计算获得加权像素重叠率； 4对单个小型堆垛层错缺陷进行显微光致发光光谱二维映射扫描，确定缺陷形貌与尺寸。

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