苏州方桥机电科技股份有限公司史炯获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州方桥机电科技股份有限公司申请的专利一种IPA清洁机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120838728B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511349391.2,技术领域涉及:B08B1/14;该发明授权一种IPA清洁机是由史炯;史雨翔;刘军设计研发完成,并于2025-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种IPA清洁机在说明书摘要公布了:本申请涉及半导体加工技术领域,尤其是涉及一种IPA清洁机,其包括工作台,输送机构,设于工作台顶部;三轴位移机构,设于工作台顶部且位于输送机构上方;清洁机构,安装于三轴位移机构,用于对托盘顶部的半导体进行清洁,清洁机构包括清洁安装块与设置在其上的清洁泡棉,清洁安装块上设有泡棉更换结构,用于清洁泡棉的快速拆装。本申请通过水平输送组件对待清洁的半导体进行输送,通过顶升组件将其顶升到清洁位置,并通过定位组件对托盘进行定位,随后通过三轴位移机构调节清洁机构的位置,通过清洁机构对半导体进行清洁,先利用喷雾阀对目标产品进行喷雾,然后通过去离子处理的清洁布对产品进行擦拭;提高产品的清理效率。
本发明授权一种IPA清洁机在权利要求书中公布了:1.一种IPA清洁机,其特征在于:包括工作台500,所述工作台500顶部设有输送机构100,所述输送机构100包括用于放置待清洁半导体的托盘109,所述输送机构100用于对托盘109进行水平和竖直方向的输送; 所述工作台500上设有三轴位移机构200;所述三轴位移机构200上安装有用于对托盘109顶部的半导体进行清洁的清洁机构300,所述清洁机构300包括清洁安装块311与设置在其上的清洁泡棉312,所述清洁安装块311上设有泡棉更换结构,所述泡棉更换结构包括设置在所述清洁泡棉312内侧的支撑板313,所述支撑板313顶部两侧设置有侧翼板324,所述侧翼板324顶部设有拆装传动组件,所述清洁安装块311上且位于所述清洁泡棉312两侧设有锁止组件,所述拆装传动组件用于驱动锁止组件固定或松开清洁泡棉312; 所述三轴位移机构200的输出端安装有竖直位移板206,所述清洁机构300包括转动连接在所述竖直位移板206两侧的放卷插杆301和收卷插杆302,所述放卷插杆301与所述收卷插杆302外侧分别插装有放卷辊303和收卷辊304,所述竖直位移板206上安装有第三电机306,所述第三电机306的输出端固定有驱动带轮307,所述收卷插杆302一端固定有传动带轮308,所述驱动带轮307与所述传动带轮308的外侧连接有第二传动皮带309,所述竖直位移板206上且位于所述放卷辊303与所述收卷辊304底部之间安装有调节气缸310,所述清洁安装块311安装在所述调节气缸310的输出端上,所述清洁泡棉312可拆卸安装在所述清洁安装块311内侧,所述竖直位移板206上且位于所述清洁安装块311顶部两侧转动连接有若干张紧导向辊305,清洁布从所述放卷辊303上放卷后绕过所述清洁泡棉312与若干所述张紧导向辊305后收卷在所述收卷辊304上,所述竖直位移板206上且位于所述调节气缸310一侧安装有除静电离子喷枪327,所述竖直位移板206上且位于所述清洁安装块311顶部两侧安装有喷雾阀314,所述工作台500上安装有压力罐组328,所述压力罐组328输出端通过导管与所述喷雾阀314输入端连接; 所述拆装传动组件包括固定在所述侧翼板324顶部的驱动齿条315,所述清洁安装块311内侧中部且位于所述支撑板313上方转动连接有传动轴317,所述传动轴317外侧两端固定有能够与所述驱动齿条315啮合连接的第一齿轮316,所述传动轴317两端固定有第二齿轮318,所述第二齿轮318底部啮合连接有第三齿轮319; 所述锁止组件包括通过螺钉安装在所述清洁安装块311上且位于两个所述第三齿轮319相背一侧的拆装盖板323,所述第三齿轮319转动连接在对应的所述拆装盖板323上,所述拆装盖板323内侧螺纹连接有调节螺杆320,所述调节螺杆320一端穿过对应的所述第三齿轮319并转动连接有定位齿板321,所述定位齿板321靠近所述清洁泡棉312一侧横向设有若干卡齿,所述定位齿板321远离所述清洁泡棉312一侧固定有若干导向杆325,所述定位齿板321通过若干所述导向杆325滑动连接在所述清洁安装块311内侧,所述调节螺杆320远离所述定位齿板321一端伸出对应的所述拆装盖板323并固定有调节旋钮322。
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