上海新昇半导体科技有限公司;太原晋科硅材料技术有限公司陈强获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新昇半导体科技有限公司;太原晋科硅材料技术有限公司申请的专利电阻测量修正方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120847482B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511349168.8，技术领域涉及：G01R27/08；该发明授权电阻测量修正方法及系统是由陈强;冯睿超;李炜设计研发完成，并于2025-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本电阻测量修正方法及系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种电阻测量修正方法及系统，包括：获取四探针设备两个电流探针针尖部位的几何特征值；基于两个所述电流探针针尖部位的几何特征值，计算出电流探针修正因子；利用所述四探针设备测量样品电阻，以获取电阻测量值ρ0；以及，利用所述电流探针修正因子对所述电阻测量值ρ0进行修正，以得修正电阻值ρ。采用本发明提供的电阻测量修正方法及系统，即使探针针尖发生磨损，电阻测量结果可以被及时修正，从而可以提高四探针设备测量结果的准确度。
本发明授权电阻测量修正方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种电阻测量修正方法，用于对四探针设备的电阻测量结果进行修正，所述四探针设备包括两个电流探针和两个电压探针，其特征在于，所述修正方法包括： 获取两个所述电流探针针尖部位的几何特征值； 基于两个所述电流探针针尖部位的几何特征值，利用如下公式计算出电流探针修正因子Ks： 公式中，δ1、δ4分别表示两个所述电流探针的等效偏移量，req1、req4分别表示两个所述电流探针的等效半径，s表示相邻两个探针之间的间距；z为大于或等于3的整数，分别为两个电流探针的系数； 利用所述四探针设备测量样品电阻，以获取电阻测量值ρ0；以及， 利用所述电流探针修正因子Ks对所述电阻测量值ρ0进行修正，以得修正电阻值ρ。
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