达波科技(上海)有限公司华千慧获国家专利权
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龙图腾网获悉达波科技(上海)有限公司申请的专利一种确认键合晶圆裂纹位置的装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120869986B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511366997.7，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权一种确认键合晶圆裂纹位置的装置及方法是由华千慧;薛成龙;王奇;杨朋辉;国洪晨;李昕;朱霄设计研发完成，并于2025-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种确认键合晶圆裂纹位置的装置及方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种确认键合晶圆裂纹位置的装置及方法，其中装置包括键合晶圆放置部、光源、图像传感部、插片部、遮光部，所述插片部设置于所述键合晶圆放置部的外侧，将插片插入键合晶圆用于确认裂纹位置；所述遮光部将键合晶圆放置部、光源、图像传感部、插片部罩于遮光部内。本申请通过图像传感技术可以实时观察晶圆位置，便于观察晶圆缺陷，可以精准定位晶圆裂纹产生位置。再利用插片部插入晶圆的裂纹产生位置，更加准确的找到晶圆裂纹的产生来源，进而辅助人员进行工艺的改善；利用简单的结构就能够准确定位键合晶圆裂纹产生位置，提高晶圆检测效率，降低人工检测产生的错检、漏检现象。
本发明授权一种确认键合晶圆裂纹位置的装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种确认键合晶圆裂纹位置的装置，其特征在于，包括： 键合晶圆放置部， 光源，所述光源设置于所述键合晶圆放置部的上方， 图像传感部，设置于所述键合晶圆放置部的上方将图像传输至显示装置； 插片部，所述插片部设置于所述键合晶圆放置部的外侧，将插片插入晶圆键合面中间用于确认裂纹位置产生在键合晶圆的上表面或下表面； 遮光部，将键合晶圆放置部、光源、图像传感部、插片部罩于遮光部内。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人达波科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201309 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区江山路3699号5幢1层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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