合肥晶合集成电路股份有限公司陈健获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利晶圆后段制程在线WAT参数预测模型训练方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120873991B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511395962.6，技术领域涉及：G06F18/25；该发明授权晶圆后段制程在线WAT参数预测模型训练方法及系统是由陈健;许可设计研发完成，并于2025-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆后段制程在线WAT参数预测模型训练方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆后段制程在线WAT参数预测模型训练方法及系统，方法包括以下步骤：获取晶圆后段制程多个站点的历史测量参数及相应的历史WAT参数，将其输入预先构建的WAT参数预测模型中，该WAT参数预测模型过注意力机制评估各个测量参数的重要性并分配相应的注意力权重，根据注意力权重并通过递归建模算法计算出各个测量参数与相应WAT参数的相关性，按照相关性强弱顺序逐步将关键的测量参数纳入WAT参数预测模型中进行迭代训练；直到模型符合预设性能指标，得到训练好的WAT参数预测模型及筛选出的最终关键测量参数组合。本发明可提高模型的迭代效率，增加模型的预测精度。
本发明授权晶圆后段制程在线WAT参数预测模型训练方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆后段制程在线WAT参数预测模型训练方法，其特征在于，包括以下步骤： 获取晶圆后段制程多个站点的历史测量参数及相应的历史WAT参数； 将历史测量参数以及相应的历史WAT参数输入预先构建的WAT参数预测模型中，该WAT参数预测模型为基于注意力机制的深度神经网络，其通过注意力机制评估各个测量参数的重要性并分配相应的注意力权重，根据注意力权重并通过递归建模算法计算出各个测量参数与相应WAT参数的相关性，按照相关性强弱顺序逐步将关键的测量参数纳入WAT参数预测模型中进行迭代训练； 对每次迭代训练后的WAT参数预测模型进行精度评估，直到符合预设性能指标，停止迭代，得到训练好的WAT参数预测模型及筛选出的最终关键测量参数组合。
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