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龙图腾网获悉天津朋通科技有限公司申请的专利一种基片磁控溅射镀膜生产设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120888885B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511418158.5，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种基片磁控溅射镀膜生产设备是由刘海东;杨雨设计研发完成，并于2025-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基片磁控溅射镀膜生产设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基片磁控溅射镀膜生产设备，包括机架、预真空单元和磁控溅射工艺单元；预真空单元和磁控溅射工艺单元集成安装于机架上；预真空单元包括预真空腔体、基片承载单元、基片传输机构，在预真空腔体靠近磁控溅射工艺单元的一侧设置有基片进出口；磁控溅射工艺单元包括溅射真空腔体、阴极装置和阳极装置，阴极装置上下可调式偏心安装于溅射真空腔体的上盖上；在溅射真空腔体靠近预真空腔体一侧设置有基片进出口，在溅射真空腔体的基片进出口与预真空腔体的基片进出口之间密封连接有闸阀组件。本发明通过功能单元的配合，可实现基片在同一真空环境下的预处理和磁控溅射镀膜，可大幅度提高溅射镀膜的生产效率，提高镀膜质量。

本发明授权一种基片磁控溅射镀膜生产设备在权利要求书中公布了：1.一种基片磁控溅射镀膜生产设备，其特征在于：包括机架1、预真空单元2和磁控溅射工艺单元3；所述预真空单元2和磁控溅射工艺单元3集成安装于机架1上； 所述预真空单元2包括预真空腔体21、基片承载单元23和基片传输机构22；在预真空腔体21靠近磁控溅射工艺单元3的一侧设有基片进出口；所述基片承载单元23连接于预真空腔体21底部，所述基片承载单元23包括可旋转控制的第一温控阳极头231，用于承载基片托盘；所述基片传输机构22为直线型往复运动机构，所述基片传输机构22通过机械夹爪221夹持基片托盘，实现载于基片托盘上的基片在预真空单元2和磁控溅射工艺单元3之间的转运； 所述磁控溅射工艺单元3包括溅射真空腔体31、阴极装置32、阳极装置33；在溅射真空腔体31靠近预真空腔体21一侧设有基片进出口，在溅射真空腔体31的基片进出口与预真空腔体21的基片进出口之间密封连接有闸阀组件；在溅射真空腔体31的上盖311上至少安装有一组呈偏心设置且可上下调节的阴极装置32，每组阴极装置32的溅射方向由上至下呈内倾斜设置，且倾斜角度可调节；所述阳极装置33连接于溅射真空腔体31的底部，所述阳极装置33包括可旋转和升降控制的第二温控阳极头331，用于承载基片托盘； 所述阳极装置33还包括第二筒状法兰座336、第二屏蔽罩332、第二屏蔽罩支撑座333、第二陶瓷断路器334、真空密封装置337、第二中空旋转轴335、第二绝缘套管、第二导电滑环3323、升降机构和第二旋转机构；第二筒状法兰座336设置于溅射真空腔体31的下端，第二筒状法兰座336的上部与溅射真空腔体31的底面通过螺钉固定连接；第二屏蔽罩332的下端法兰与第二屏蔽罩支撑座333的上端法兰通过螺钉固定连接；第二陶瓷断路器334内置于第二屏蔽罩支撑座333内孔中，第二陶瓷断路器334的下端部与第二中空旋转轴335的上端固定连接；第二温控阳极头331的下端与第二陶瓷断路器334的上端固定连接；在第二筒状法兰座336的下端连接有多根竖向导向杆338，多个竖向导向杆338的下端连接有导向杆固定板3312，在多个竖向导向杆338上通过直线轴承连接有导向板339；导向板339中心设置有供第二中空旋转轴335自由穿过的通孔； 所述阴极装置32包括磁控阴极325、阴极支撑法兰管322和第二角度调节器324，在每组磁控阴极325的下端同轴安装有靶材328，每组磁控阴极325与溅射电源电连接；所述第二角度调节器324包括波纹管3243、波纹管上连接法兰3241、波纹管下连接法兰3246、两上部铰接板3242、两下部铰接板3245、上调节螺杆3248、下调节螺杆32410和调节螺套3249；所述波纹管3243的上、下两端分别与波纹管上连接法兰3241的中心孔与波纹管下连接法兰3246的中心孔插装固定；所述波纹管上连接法兰3241与阴极支撑法兰管322的下端通过螺钉固定连接，所述波纹管下连接法兰3246与磁控阴极325的上端固定连接；所述两上部铰接板3242的上端分别与波纹管上连接法兰3241的两侧固定连接，所述两上部铰接板3242的下端分别与波纹管下连接法兰3246的两侧固定连接，同侧的上部铰接板3242的下端部和下铰接板的上端部通过铰接轴3244形成铰连接，且两侧的铰接轴3244呈同轴设置；所述调节螺套3249内两端设置有反向螺纹，所述调节螺套3249两端的螺纹分别与上调节螺杆3248的下端部及下调节螺杆32410的上端部螺纹连接；所述上调节螺杆3248的上端部与固定在波纹管上连接法兰3241下端的上接头3247铰连接，所述下调节螺杆32410的下端部与固定在波纹管下连接法兰3246上端的下接头32411铰连接，所述上调节螺杆3248、下调节螺杆32410和调节螺套3249构成调节组件，调节组件设置于铰接轴3244一侧位置；所述阴极支撑法兰管322与设置于上盖311上的孔密封插装配合，并在阴极支撑法兰管322上位于上盖311的上方固定有限位螺母323，实现阴极支撑法兰管322的限位。

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