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龙图腾网获悉南京信息工程大学申请的专利一种MEMS光谐振式加速度计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120891224B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511432338.9，技术领域涉及：G01P15/08；该发明授权一种MEMS光谐振式加速度计是由李紫彤;钟建华;郭鑫;王慧怡;章邦炬设计研发完成，并于2025-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MEMS光谐振式加速度计在说明书摘要公布了：本发明公开了一种MEMS光谐振式加速度计，属于微纳机电系统与光学传感领域。该加速度计包括玻璃基座、硅微结构层、安全结构组、双象限光电探测器及光源；玻璃基座中心设双象限光电探测器；硅微结构层具有通过四组垂直力放大单元连接的受力基座和质量块；受力基座四角设折叠梁式安全结构；质量块中心设圆形透光孔且与双象限光电探测器共轴对齐，两侧对称布置静电梳齿驱动器组以激励谐振；光源发射垂直光束经透光孔被双象限光电探测器接收；加速度作用于受力基座时，惯性力经杠杆机构放大转换为质量块的轴向应力，调制其谐振频率；当光强信号相位滞后驱动信号90°时，系统锁定谐振状态，通过频率偏移解算加速度，实现加速度高精度测量。

本发明授权一种MEMS光谐振式加速度计在权利要求书中公布了：1.一种MEMS光谐振式加速度计，其特征在于，包括玻璃基座、硅微结构层、安全结构组、双象限光电探测器和光源； 安全结构组固定在玻璃基座的表面，分布在硅微结构层的周围，硅微结构层悬挂在玻璃基座上，光源固定设置于硅微结构层之外，光源的光轴垂直于玻璃基座平面，双象限光电探测器固定在玻璃基座表面中心； 硅微结构层包括质量块、谐振器组、垂直力放大结构组和受力基座，受力基座为环状结构，垂直力放大结构组和质量块分布在受力基座的内侧，质量块通过垂直力放大结构组连接受力基座，谐振器组固定在受力基座的内侧壁上；质量块的两侧设置有梳齿，与谐振器组的梳齿对插形成静电梳齿驱动器； 质量块中心设有完全贯穿厚度方向的圆形透光孔，光源发出的光透过圆形透光孔后被双象限光电探测器接收，在加速度计静止状态下，双象限光电探测器的光敏区与圆形透光孔共轴对齐； 当加速度计受到外界加速度作用时，作用于受力基座的惯性力放大并转换为施加于质量块的轴向应力，调制质量块的固有谐振频率；静电梳齿驱动器驱动质量块在固有谐振频率下振动，双象限光电探测器实时检测质量块振动引起的光强变化信号，当检测到的光强信号相位与驱动信号相位相差90度时，系统实现闭环锁定，并将加速度值转换为谐振频率的偏移量进行测量； 安全结构组包括第一安全单元、第二安全单元、第三安全单元和第四安全单元，第一安全单元、第二安全单元、第三安全单元和第四安全单元的结构相同，均包括固定锚点和折叠梁，折叠梁的一端连接固定锚点，折叠梁的另一端为自由端，该自由端与受力基座外侧壁之间预留有限位间隙；固定锚点固定在玻璃基座上，固定锚点位于受力基座的外侧。

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