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南京信息工程大学王慧怡获国家专利权

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龙图腾网获悉南京信息工程大学申请的专利基于光强度调制的MOMES加速度计获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120891225B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511432343.X,技术领域涉及:G01P15/08;该发明授权基于光强度调制的MOMES加速度计是由王慧怡;钟建华;郭鑫;朱嘉林;潘金瑞;李紫彤;章邦炬设计研发完成,并于2025-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。

基于光强度调制的MOMES加速度计在说明书摘要公布了:本发明公开了基于光强度调制的MOMES加速度计,属于微电子机械系统及惯性测量技术领域。所述MOMES加速度计包括硅基底座、质量块、固定锚点、弹性梁组件和双光电探测器;质量块通过弹性梁组件和固定锚点悬挂在硅基底座上,固定锚点固定在硅基底座的表面,且固定锚点与弹性梁组件连接;质量块的中心设有完全贯穿厚度方向的透光孔;双光电探测器固定在硅基底座的表面,且位于透光孔的光投射区域。当加速度计沿Y轴方向受到外界加速度作用时,矩形质量块相对于硅基底座产生位移,使透光孔投射的光斑在双光电探测器上的光强分布发生差分变化;使得该加速度计具有高灵敏度、抗干扰能力强及工艺兼容性好等优点,适用于高精度惯性测量。

本发明授权基于光强度调制的MOMES加速度计在权利要求书中公布了:1.一种基于光强度调制的MOMES加速度计,其特征在于,包括硅基底座、质量块、固定锚点、弹性梁组件和双光电探测器; 质量块通过弹性梁组件和固定锚点悬挂在硅基底座上,固定锚点固定在硅基底座的表面,且固定锚点与弹性梁组件连接; 质量块的中心设有完全贯穿厚度方向的透光孔; 双光电探测器固定在硅基底座的表面,且位于透光孔的光投射区域; 弹性梁组件包括第一方向弹性梁、第二方向弹性梁、第三方向弹性梁和第四方向弹性梁,且第一方向弹性梁、第二方向弹性梁、第三方向弹性梁和第四方向弹性梁的结构相同,第一方向弹性梁的一端、第二方向弹性梁的一端、第三方向弹性梁的一端和第四方向弹性梁的一端连接质量块,第一方向弹性梁的另一端、第二方向弹性梁的另一端、第三方向弹性梁的另一端和第四方向弹性梁的另一端连接固定锚点; 固定锚点包括第一方向固定锚点、第二方向固定锚点、第三方向固定锚点和第四方向固定锚点,第一方向固定锚点、第二方向固定锚点、第三方向固定锚点和第四方向固定锚点的结构相同,分别固定在硅基底座的顶角处; 双光电探测器包括第一光电探测器和第二光电探测器,第一光电探测器和第二光电探测器沿着质量块的移动方向依次固定在硅基底座的表面,第一光电探测器和第二光电探测器与差分电路连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南京信息工程大学,其通讯地址为:211899 江苏省南京市江北新区华富路1号数智溪谷4号楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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