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无锡先为科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权

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龙图腾网获悉无锡先为科技有限公司申请的专利一种冷阱装置及CVD处理设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223602040U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423212245.9,技术领域涉及:B01D8/00;该实用新型一种冷阱装置及CVD处理设备是由请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。

一种冷阱装置及CVD处理设备在说明书摘要公布了:本申请公开了一种冷阱装置及CVD处理设备,属于半导体处理设备技术领域。冷阱装置包括壳体和多个冷却组件,壳体具有处理室,壳体包括沿上下方向间隔布置的第一壁与第二壁,及位于第一壁与第二壁之间的侧壁,侧壁分别连接第一壁与第二壁,并共同围成有处理室;多个冷却组件相互套设且间隔排布于处理室内,相邻两个冷却组件中,一个冷却组件与第一壁连接,另一个冷却组件与第二壁连接,以将处理室的内部空间分割并形成之字型通道。通过相邻两个冷却组件与壳体配合形成的之字型通道,增加冷却路径的复杂性,增加气体分子与冷却组件表面接触的机会,提高了对气体中大分子的捕集效率。

本实用新型一种冷阱装置及CVD处理设备在权利要求书中公布了:1.一种冷阱装置,其特征在于,包括: 壳体10,具有处理室100,所述壳体10包括沿上下方向X间隔布置的第一壁101与第二壁102,及位于所述第一壁101与所述第二壁102之间的侧壁103,所述侧壁103分别连接所述第一壁101与所述第二壁102,并共同围成有所述处理室100; 多个冷却组件11,相互套设且间隔排布于所述处理室100内,相邻两个所述冷却组件11中,一个所述冷却组件11与所述第一壁101连接,另一个所述冷却组件11与所述第二壁102连接,以将所述处理室100的内部空间分割并形成之字型通道1000。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人无锡先为科技有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市新吴区新梅路58号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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