常州诚鉺正环保技术有限公司陈逵获国家专利权
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龙图腾网获悉常州诚鉺正环保技术有限公司申请的专利一种芯片干式刻蚀工艺用气体净化处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223602283U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423174660.X，技术领域涉及：B01D53/04；该实用新型一种芯片干式刻蚀工艺用气体净化处理设备是由陈逵;许可;金大正;朱志伟设计研发完成，并于2024-12-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种芯片干式刻蚀工艺用气体净化处理设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种芯片干式刻蚀工艺用气体净化处理设备，属于气体净化技术领域，其包括裂解筒和预吸附装置，裂解筒内设有加热件和放置件，加热件用于对通入裂解筒内的气体进行加热，放置件用于放置裂解催化剂，预吸附装置包括预吸附筒，预吸附筒内设有吸附介质，预吸附筒上设有进气总管和连接管，待净化气体通过进气总管进入预吸附筒内，连接管远离预吸附筒的一端与裂解筒连接，裂解筒上设有出气管，经净化后的气体通过出气管排出设备。预吸附装置能够在常温下进行废气处理，常温吸附能耗低，吸附介质价格便宜，经过预处理后，剩余少量的废气由高温裂解装置进行分解处理，即保证了废气处理效果，又能使废气处理成本降低。
本实用新型一种芯片干式刻蚀工艺用气体净化处理设备在权利要求书中公布了：1.一种芯片干式刻蚀工艺用气体净化处理设备，其特征在于：包括裂解筒2和预吸附装置1，所述裂解筒2内设有加热件3和放置件9，所述加热件3用于对通入裂解筒2内的气体进行加热，所述放置件9用于放置裂解催化剂，所述预吸附装置1包括预吸附筒11，所述预吸附筒11内设有吸附介质，所述预吸附筒11上设有进气总管111和连接管112，待净化气体通过进气总管111进入预吸附筒11内，所述连接管112远离预吸附筒11的一端与裂解筒2连接，所述裂解筒2上设有出气管23，经净化后的气体通过所述出气管23排出设备。
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