苏州美图半导体技术有限公司王云翔获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉苏州美图半导体技术有限公司申请的专利光刻胶喷吐装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223602764U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423005736.6，技术领域涉及：B05C5/02；该实用新型光刻胶喷吐装置是由王云翔;马冬月;段仲伟;姚园设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻胶喷吐装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种光刻胶喷吐装置，属于半导体行业芯片制造技术领域。光刻胶喷吐装置包括喷吐机构；喷吐机构包括：注射组件，用于提供光刻胶并将其输送至排泡组件；排泡组件，与所述注射组件相连，用于接收来自所述注射组件的光刻胶并去除其中的气泡；机械手臂喷吐组件，与所述排泡组件相连，用于将去除气泡后的光刻胶精准地喷吐至晶圆基片上；驱动组件，驱动所述机械手臂喷吐组件，用于改变机械手臂喷吐组件上的喷吐头的位置与高度。本实用新型实现了对光刻胶的精准定量输送，同时还能够高效排泡，从而保证后续匀胶质量和制品的品质。
本实用新型光刻胶喷吐装置在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶喷吐装置，其特征在于，包括喷吐机构； 所述喷吐机构包括： 注射组件，用于提供光刻胶并将其输送至排泡组件； 排泡组件，与所述注射组件相连，用于接收来自所述注射组件的光刻胶并去除其中的气泡； 机械手臂喷吐组件，与所述排泡组件相连，用于将去除气泡后的光刻胶精准地喷吐至晶圆基片上； 驱动组件，驱动所述机械手臂喷吐组件，用于改变机械手臂喷吐组件上的喷吐头的位置与高度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州美图半导体技术有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区11幢502室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励