江苏东晨电子科技有限公司苏亮获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏东晨电子科技有限公司申请的专利一种改善高粘性负胶匀胶胶丝残留装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223602788U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422527342.0，技术领域涉及：B05C15/00；该实用新型一种改善高粘性负胶匀胶胶丝残留装置是由苏亮;沈一舟设计研发完成，并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种改善高粘性负胶匀胶胶丝残留装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及功率半导体制造技术领域，公开了一种改善高粘性负胶匀胶胶丝残留装置，不锈钢匀胶腔室配备吸盘电机连接轴，轴底接吸盘电机提供旋转，轴顶装旋转吸盘。腔室外侧装电动提升器，输出端接翻转座，座上装双层盖，盖上装滴胶管路，管路穿盖向下延伸。通过优化的匀胶设计，有效减少了晶圆背面和边缘的胶丝残留，从而降低了在后续光刻过程中出现破片、裂片等导致晶圆报废的问题。减少了晶圆边缘胶丝残留，进而减少了因胶丝残留造成的光刻版损伤，延长了光刻版的使用寿命。通过减少晶圆的报废率和光刻版的损伤，为高压大功率芯片的台面、引线等光刻匀胶工序提供了更合理的工艺方案，从而提升了整体的工艺良率。
本实用新型一种改善高粘性负胶匀胶胶丝残留装置在权利要求书中公布了：1.一种改善高粘性负胶匀胶胶丝残留装置，其特征在于，包括：不锈钢匀胶腔室1，所述不锈钢匀胶腔室1内安装有吸盘电机连接轴2，所述吸盘电机连接轴2底部连接有吸盘电机，用于提供旋转驱动，所述吸盘电机连接轴2顶端安装有旋转吸盘3，所述不锈钢匀胶腔室1相邻外侧安装有电动提升器4，所述电动提升器4输出端连接有翻转座5，所述翻转座5上安装有双层盖，所述双层盖上安装有滴胶管路9，所述滴胶管路9贯穿双层盖并向下延伸。
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