太仓同晟工业自动化有限公司杨浩获国家专利权
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龙图腾网获悉太仓同晟工业自动化有限公司申请的专利一种晶棒在线清洁装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223602949U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423019083.7,技术领域涉及:B08B1/14;该实用新型一种晶棒在线清洁装置是由杨浩;张金义设计研发完成,并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶棒在线清洁装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶棒在线清洁装置,包括横跨于若干并排设置的输送带上的机架;所述机架上水平设置有横跨所有输送带的横向轨道;还包括可沿横向轨道运动的滑动架,所述滑动架上设置有可升降的立柱以及随立柱升降的夹具;所述夹具包括沿输送带轴向前后设置的夹持端;还包括用于进行清洁的清洁工位,所述夹具夹持输送带上的晶棒后,跟随滑动架将晶棒输送至机架一侧上的清洁工位,并在清洁时带动晶棒旋转;所述清洁工位上设置有在线清洁机构;所述在线清洁机构包括旋转的清洁部件,所述清洁部件可沿晶棒轴向做往复直线运动对晶棒侧面进行擦拭。本实用新型能够对产线上的晶棒进行快速的夹持运输并翻转,在进行外观缺陷检测的同时对晶棒侧面进行清洁。
本实用新型一种晶棒在线清洁装置在权利要求书中公布了:1.一种晶棒在线清洁装置,其特征在于:包括横跨于若干并排设置的输送带上的机架;所述机架上水平设置有横跨所有输送带的横向轨道;还包括可沿横向轨道运动的滑动架,所述滑动架上设置有可升降的立柱以及随立柱升降的夹具;所述夹具包括沿输送带轴向前后设置的夹持端;两个夹持端位于同一高度,并可相互靠拢或者远离用于夹持或者松开晶棒;两个夹持端可同步旋转,从而带动被夹持的晶棒沿自身轴线旋转;还包括用于进行清洁的清洁工位,所述夹具夹持输送带上的晶棒后,跟随滑动架将晶棒输送至机架一侧上的清洁工位,并在清洁时带动晶棒旋转; 所述清洁工位上设置有在线清洁机构;所述在线清洁机构包括旋转的清洁部件,所述清洁部件可沿晶棒轴向做往复直线运动对晶棒侧面进行擦拭。
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