深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司李万获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利半导体清洁装置及半导体生产设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223603045U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422277701.1，技术领域涉及：B08B9/032；该实用新型半导体清洁装置及半导体生产设备是由李万;杨昌伟;林泽阳设计研发完成，并于2024-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体清洁装置及半导体生产设备在说明书摘要公布了：本公开涉及一种半导体清洁装置及半导体生产设备，其中，半导体清洁装置用于对静电吸盘10进行吹扫清洁，所述半导体清洁装置包括：支架组件1，连接于所述静电吸盘10上方的安装平台101；和喷气组件2，连接于所述支架组件1，所述喷气组件2与所述静电吸盘10沿第一方向z间隔设置，所述喷气组件2和所述静电吸盘10可相对移动，所述喷气组件2上设有至少一个喷气口，所述喷气口朝向于所述静电吸盘10，所述喷气组件2被配置为可选择地向所述静电吸盘10喷吹气体。
本实用新型半导体清洁装置及半导体生产设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体清洁装置，其特征在于，用于对静电吸盘10进行吹扫清洁，所述半导体清洁装置包括： 支架组件1，连接于所述静电吸盘10上方的安装平台101；和 喷气组件2，连接于所述支架组件1，所述喷气组件2与所述静电吸盘10沿第一方向z间隔设置，所述喷气组件2和所述静电吸盘10可相对移动，所述喷气组件2上设有至少一个喷气口，所述喷气口朝向于所述静电吸盘10，所述喷气组件2被配置为可选择地向所述静电吸盘10喷吹气体；所述喷气组件2包括至少一个喷气管21，所述喷气管21沿第二方向x延伸，所述第二方向x相交于所述第一方向z，所述喷气管21上设有多个喷气口，多个所述喷气口沿所述第二方向x间隔设置；所述喷气组件2还包括进气段22，所述进气段22凸出于所述喷气管21，所述进气段22用于连接压缩空气源。
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