上海新微技术研发中心有限公司诸晓栋获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新微技术研发中心有限公司申请的专利一种研磨液自动回收装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223604118U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422524716.3，技术领域涉及：B24B37/34；该实用新型一种研磨液自动回收装置是由诸晓栋设计研发完成，并于2024-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种研磨液自动回收装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种研磨液自动回收装置，包括供液模块，所述供液模块设置有供液装置，所述供液装置的第一出水端通过循环管连通所述供液装置的第二进水端，所述循环管上沿其内的液体的流动路径依次设置有第一供液泵和工艺模块；所述工艺模块设置有液体分配装置，所述液体分配装置通过输送管连通机台装置，所述输送管上沿其内的液体的流动路径依次设置有过滤组件和回收装置，所述回收装置的一端与所述循环管连通。通过上述方式，使得机台装置停止要液时，液体分配装置中的研磨液在到达机台端前，可以通过回收装置中的回流管进入到原有的循环管路，实现研磨液在整个工作系统中的循环流通，避免了碾磨液在机台端的结晶沉淀。
本实用新型一种研磨液自动回收装置在权利要求书中公布了：1.一种研磨液自动回收装置，其特征在于，包括： 供液模块1，所述供液模块1设置有供液装置11，所述供液装置11的第一出水端通过循环管12连通所述供液装置11的第二进水端，所述循环管12上沿其内的液体的流动路径依次设置有第一供液泵13和工艺模块2； 所述工艺模块2设置有液体分配装置21，所述液体分配装置21通过输送管22连通机台装置24，所述输送管22上沿其内的液体的流动路径依次设置有过滤组件23和回收装置3，所述回收装置3的一端与所述循环管12连通； 所述回收装置3包括控制组件31和回流管32，所述控制组件31通过所述回流管32与所述循环管12连通； 所述控制组件31包括三通阀311和电磁阀312，流经所述过滤组件23的液体依次通过所述三通阀311的A端和B端、所述电磁阀312流向所述机台装置24，所述三通阀311的C端通过所述回流管32连通所述循环管12。
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