苏州希迈克精密机械科技有限公司孙凯获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州希迈克精密机械科技有限公司申请的专利一种晶圆存储柜的氮气填充装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223606150U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423052052.1,技术领域涉及:B65D55/02;该实用新型一种晶圆存储柜的氮气填充装置是由孙凯;田恒绪;纪春明设计研发完成,并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆存储柜的氮气填充装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体工艺设备技术领域,公开了一种晶圆存储柜的氮气填充装置,包括箱体,所述箱体的外部转动连接有柜门,所述柜门的内壁滑动连接有按钮,所述按钮的外部滑动连接有锁盒,所述锁盒的内壁滑动连接有挡板,所述挡板的两端固定连接有弹板,所述弹板远离所述挡板的一端固定连接有锁块,所述挡板的外部固定连接有弹簧一,所述弹簧一远离所述挡板的一端固定连接有支撑板。本实用新型中,通过按压按钮随后挡板移动会挤压两端的弹板,弹板挤压两个锁块向内收缩,当锁盒进入卡槽的底部时,松开按钮时弹簧一储存的弹性势能向挡板进行释放,然后弹出锁块卡住箱体的内壁无法移动。
本实用新型一种晶圆存储柜的氮气填充装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆存储柜的氮气填充装置,包括箱体1,其特征在于:所述箱体1的外部转动连接有柜门2,所述柜门2的内壁滑动连接有按钮3,所述按钮3的外部滑动连接有锁盒4,所述锁盒4的内壁滑动连接有挡板5,所述挡板5的两端固定连接有弹板6,所述弹板6远离所述挡板5的一端固定连接有锁块7,所述挡板5的外部固定连接有弹簧一8,所述弹簧一8远离所述挡板5的一端固定连接有支撑板9,所述箱体1的内壁固定连接有对后续部件进行固定的固定组件。
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