东莞市元素真空科技有限公司高佳获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市元素真空科技有限公司申请的专利一种溅射镀膜的遮挡修正机构及其溅射镀膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223607340U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422936168.5，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型一种溅射镀膜的遮挡修正机构及其溅射镀膜装置是由高佳;周征华;宋加杰;赵金雷;王随随设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种溅射镀膜的遮挡修正机构及其溅射镀膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种溅射镀膜的遮挡修正机构及其溅射镀膜装置，其包括，设于阴极柱与镀膜腔室之间的通道内，遮挡修正机构包括，安装架、多个修正尺和多个遮挡尺；各修正尺可调节并间隔设于安装架，且相邻两修正尺之间间隔形成第一间隙；各修正尺靠近阴极柱，调节修正尺，以使修正尺的遮挡部伸入或退出通道；各遮挡尺可调节设于安装架，并遮盖对应的第一间隙，遮挡尺远离阴极柱，调节遮挡尺，以使遮挡尺遮盖对应第一间隙的面积。通过调节修正尺以及遮挡尺的配合来缩减通道的宽度，进而限制了通过通道特定位置的等离子体数量，并通过遮挡尺遮挡两相邻修正尺之间的缝隙，以避免遮挡的等离子体出现泄漏，进而提升靶材的镀膜精度。
本实用新型一种溅射镀膜的遮挡修正机构及其溅射镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种溅射镀膜的遮挡修正机构，设于阴极柱20与镀膜腔室2之间的通道101内，其特征在于：所述遮挡修正机构1包括，安装架31、多个修正尺32和多个遮挡尺33以及推动所述修正尺32和遮挡尺33的电驱动机构50； 各所述修正尺32可调节并间隔设于所述安装架31，且相邻两所述修正尺32之间间隔形成第一间隙a；调节所述修正尺32，以使所述修正尺32的遮挡部321伸入或退出所述通道101； 各所述遮挡尺33可调节设于所述安装架31，并遮盖对应的所述第一间隙a，调节所述遮挡尺33，以使所述遮挡尺33遮盖对应第一间隙a的面积。
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