中建材光电装备(太仓)有限公司;中建材耀华(内江)节能玻璃有限公司沈晓晨获国家专利权
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龙图腾网获悉中建材光电装备(太仓)有限公司;中建材耀华(内江)节能玻璃有限公司申请的专利一种磁控溅射靶罩获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223607341U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423049341.6，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种磁控溅射靶罩是由沈晓晨;王家亮;张金鹏;王浩天设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射靶罩在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种磁控溅射靶罩，涉及磁控溅射技术领域，包括靶罩主体，所述靶罩主体的下方设置有底座，所述底座的上表面设置有靶材，所述靶材的外壁滑动套接有压环，所述压环通过螺栓与底座固定连接，所述靶罩主体套接在压环的外壁，所述靶罩主体与压环螺纹连接，所述靶罩主体上设置有用于对靶罩主体进行移动限位的限位机构。本实用新型通过限位机构，能够通过对靶罩主体进行快速安装与拆卸，并对靶罩主体的高度进行自动限位，从而可进一步提高对靶材更换的效率，同时通过对靶罩主体的便捷更换，以此对靶罩主体进行高效维护。
本实用新型一种磁控溅射靶罩在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射靶罩，包括靶罩主体1，所述靶罩主体1的下方设置有底座5，所述底座5的上表面设置有靶材3，所述靶材3的外壁滑动套接有压环4，所述压环4通过螺栓与底座5固定连接，所述靶罩主体1套接在压环4的外壁，所述靶罩主体1与压环4螺纹连接，其特征在于，所述靶罩主体1上设置有用于对靶罩主体1进行移动限位的限位机构。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中建材光电装备(太仓)有限公司;中建材耀华(内江)节能玻璃有限公司，其通讯地址为：215400 江苏省苏州市太仓市港口开发区长江路189号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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