江苏海泰光电材料科技股份有限公司常代展获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏海泰光电材料科技股份有限公司申请的专利一种复合结构旋转靶材获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223607342U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423201067.X,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型一种复合结构旋转靶材是由常代展;张东;郝国建设计研发完成,并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种复合结构旋转靶材在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种复合结构旋转靶材,涉及靶材溅射技术领域,该装置,包括靶材本体;还包括:环形槽,其一体成型设置在靶材本体的端部,且环形槽设置有两个并分别位于靶材本体的上下两端,所述靶材本体的上下两端均设置有金属环,金属环嵌合在环形槽的内部,所述靶材本体的表面喷涂有涂层,在常规等离子喷涂氧化锆旋转靶材的两端添加纯锆材料的金属环,与靶材两端的卡合槽进行嵌合,纯锆为金属,导电性能良好,在靶材溅射过程中可保障旋转靶材两端不形成绝缘陶瓷膜,避免弧光放电,提高靶材使用率。
本实用新型一种复合结构旋转靶材在权利要求书中公布了:1.一种复合结构旋转靶材,包括靶材本体1; 其特征在于:还包括: 环形槽2,其一体成型设置在靶材本体1的端部,且环形槽2设置有两个并分别位于靶材本体1的上下两端,所述靶材本体1的上下两端均设置有金属环7,金属环7嵌合在环形槽2的内部,所述靶材本体1的表面喷涂有涂层10。
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