怡通科技有限公司孟凡杰获国家专利权
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龙图腾网获悉怡通科技有限公司申请的专利磁控溅射、坩埚多功能镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223607349U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423138288.7,技术领域涉及:C23C14/56;该实用新型磁控溅射、坩埚多功能镀膜设备是由孟凡杰;房臣德设计研发完成,并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁控溅射、坩埚多功能镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供了磁控溅射、坩埚多功能镀膜设备,属于薄膜镀膜设备领域。该设备真空蒸镀作业腔内设置的磁控溅射装置、卷膜装置和旋转机构,所述旋转机构包括固定座、转台和齿圈,所述转台的顶部安装有若干个坩埚。本实用新型通过设置旋转机构使得转台旋转,带动所有坩埚进行旋转,使得蒸发镀膜加工完毕的坩埚移动,下个坩埚转动至蒸发作业工位,如此反复,从而使得一次抽真空后可以连续采用多个坩埚进行蒸发镀膜作业加工,而不同坩埚可以采用不同的镀膜材料,实现一次作业完成多种材料分层镀膜,或者一卷薄膜分段采用不同材料分别镀膜作业,显著提高了加工效率。
本实用新型磁控溅射、坩埚多功能镀膜设备在权利要求书中公布了:1.磁控溅射、坩埚多功能镀膜设备,包括真空蒸镀作业腔1,所述真空蒸镀作业腔1内安装有磁控溅射装置和收放膜装置,所述收放膜装置包括收放驱动装置、收膜辊和放膜辊,所述收放驱动装置驱动收膜辊和放膜辊收放薄膜,所述磁控溅射装置为收膜辊和放膜辊之间的薄膜溅射镀膜,其特征在于:所述真空蒸镀作业腔1内还设置有坩埚蒸镀机构和旋转机构,所述坩埚蒸镀机构包括若干个坩埚和加热设备,所述旋转机构包括固定安装在真空蒸镀作业腔1内壁底部的固定座201,固定座201的顶部转动安装有转台202,所述转台202的顶部开设有若干个放置槽203,所述放置槽203用于放置坩埚204;所述转台202内安装有旋转驱动机构,所述旋转驱动机构驱动转台旋转并使不同坩埚处于蒸发镀膜工位,所述坩埚蒸镀机构采用处于蒸发镀膜工位的坩埚为收膜辊和放膜辊之间的薄膜蒸发镀膜。
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