厦门高光半导体材料有限公司蔡则凡获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门高光半导体材料有限公司申请的专利镀膜治具及镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223607352U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423270159.3,技术领域涉及:C23C16/04;该实用新型镀膜治具及镀膜设备是由蔡则凡;张蔡星;钱超;甘帅燕设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀膜治具及镀膜设备在说明书摘要公布了:本申请提供一种镀膜治具及镀膜设备。其中的镀膜治具包括掩膜板组件和磁铁板组件。掩膜板组件包括呈环形的底板,覆盖在底板上侧的掩膜板,以及压板;掩膜板中部具有呈阵列排布的图案开口,且第一方向上的两侧边缘分别设置有第一连接孔和第二连接孔;底板上设置有分别与第一连接孔和第二连接孔相插接的凸台,第一连接孔的内径与对应凸台的外径相一致,第二连接孔为沿着第一方向延伸的长腰孔,且长腰孔的宽度与对应凸台的外径相一致;压板环绕掩膜板设置在底板上侧,中部区域形成基板放置槽,掩膜板作为基板放置槽的底部;磁铁板组件覆盖在基板放置槽的上口,且与掩膜板组件之间可拆卸固定连接。本申请能够使掩膜板与基板充分贴合,提高镀膜质量。
本实用新型镀膜治具及镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种镀膜治具,包括掩膜板组件和磁铁板组件,其特征在于, 掩膜板组件包括呈环形的底板,覆盖在底板上侧的掩膜板,以及压板; 掩膜板中部具有呈阵列排布的图案开口,且第一方向上的两侧边缘分别设置有第一连接孔和第二连接孔; 底板上设置有分别与第一连接孔和第二连接孔相插接的凸台, 第一连接孔的内径与对应凸台的外径相一致, 第二连接孔为沿着第一方向延伸的长腰孔,且长腰孔的宽度与对应凸台的外径相一致; 压板环绕掩膜板设置在底板上侧,中部区域形成基板放置槽,掩膜板作为基板放置槽的底部; 磁铁板组件覆盖在基板放置槽的上口,且与掩膜板组件之间可拆卸固定连接。
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