东领科技装备有限公司张小强获国家专利权
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龙图腾网获悉东领科技装备有限公司申请的专利一种原子层沉积设备的源瓶加热装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223607357U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422765559.5，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种原子层沉积设备的源瓶加热装置是由张小强;金在宽;张远昊设计研发完成，并于2024-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种原子层沉积设备的源瓶加热装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种原子层沉积设备的源瓶加热装置，涉及源瓶加热技术领域。本实用新型包括加热筒，所述加热筒内设置有密封环，且加热筒的一侧设置有温感机构，所述加热筒的侧壁上开设有换液孔，且换液孔内固定安装有衔接软管，所述衔接软管的另一端固定安装有外置箱，且衔接软管与外置箱之间相连通设置，所述外置箱的侧壁上设置有搅拌机构，且外置箱上设置有加热机构。本实用新型能够通过将外置箱安装在设备外缩小整个加热装置的体积，同时由于不在原子沉积设备内安装较多的零部件，从而能够便于加热装置的安装和拆卸，同时还能够根据设备的体积进行调整，进而能够便于原子沉积设备的推广和使用。
本实用新型一种原子层沉积设备的源瓶加热装置在权利要求书中公布了：1.一种原子层沉积设备的源瓶加热装置，其特征在于，包括加热筒1，所述加热筒1内设置有密封环3，且加热筒1的一侧设置有温感机构，所述加热筒1的侧壁上开设有换液孔11，且换液孔11内固定安装有衔接软管6，所述衔接软管6的另一端固定安装有外置箱7，且衔接软管6与外置箱7之间相连通设置，所述外置箱7的侧壁上设置有搅拌机构，且外置箱7上设置有加热机构。
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