东领科技装备有限公司张小强获国家专利权
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龙图腾网获悉东领科技装备有限公司申请的专利一种原子层沉积设备内腔密闭装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223607358U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422981492.9，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种原子层沉积设备内腔密闭装置是由张小强;金在宽;张远昊设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种原子层沉积设备内腔密闭装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种原子层沉积设备内腔密闭装置，涉及原子层沉积设备技术领域。本实用新型包括支撑盒，所述支撑盒的侧壁上开设有多个组装孔，多个所述组装孔内均设置有透明防护管，所述透明防护管的内侧壁上固定安装有支撑环，且支撑环的侧壁上开设有多个联通孔，所述支撑环内滑动插设有移动连杆，且移动连杆的两端均设置有封堵机构，所述移动连杆上位于支撑环的一侧设置有复位泄压机构。本实用新型通过设置的密封块和复位弹簧进行抵抗，进而避免气体进入到设备的腔体内，这样能够保持设备内腔的密封性和内腔中反应的稳定性，并且当封堵块被挤压突出封堵环时，这样能够便于被工作人员发现，从而进行及时的维修处理。
本实用新型一种原子层沉积设备内腔密闭装置在权利要求书中公布了：1.一种原子层沉积设备内腔密闭装置，其特征在于，包括支撑盒1，所述支撑盒1的侧壁上开设有多个组装孔2，多个所述组装孔2内均设置有透明防护管5，所述透明防护管5的内侧壁上固定安装有支撑环6，且支撑环6的侧壁上开设有多个联通孔12，所述支撑环6内滑动插设有移动连杆7，且移动连杆7的两端均设置有封堵机构，所述移动连杆7上位于支撑环6的一侧设置有复位泄压机构，所述透明防护管5的端面侧壁上设置有衔接机构。
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