浙江爱旭太阳能科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司;滁州爱旭太阳能科技有限公司;山东爱旭太阳能科技有限公司符竞帆获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江爱旭太阳能科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司;滁州爱旭太阳能科技有限公司;山东爱旭太阳能科技有限公司申请的专利一种输气管路和原子层沉积设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223607359U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422986553.0,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型一种输气管路和原子层沉积设备是由符竞帆;谢东辰;邱开富;王永谦;陈刚设计研发完成,并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种输气管路和原子层沉积设备在说明书摘要公布了:本实用新型适用于原子层沉积技术领域,提供了一种输气管路和原子层沉积设备。输气管路包括:第一弯折管道、喷洒装置和第二弯折管道;所述喷洒装置位于所述第一弯折管道和所述第二弯折管道之间;所述第一弯折管道的一端与第一源瓶连通,所述第一弯折管道的另一端与所述喷洒装置连通;所述第二弯折管道的一端与第二源瓶连通,所述第二弯折管道的另一端与所述喷洒装置连通。本实用新型通过将喷洒装置设置位于第一弯折管道和第二弯折管道之间,两个源瓶中的气体分别经过两个弯折管道从喷洒装置喷出,故可以使得两种气体的输气路径无需共用管道,从而避免两种气体在共用管道内反应,堵塞输气管道。
本实用新型一种输气管路和原子层沉积设备在权利要求书中公布了:1.一种输气管路,其特征在于,所述输气管路包括:第一弯折管道、喷洒装置和第二弯折管道;所述喷洒装置位于所述第一弯折管道和所述第二弯折管道之间; 所述第一弯折管道的一端与第一源瓶连通,所述第一弯折管道的另一端与所述喷洒装置连通,所述第一源瓶中的气体经过所述第一弯折管道从所述喷洒装置喷出; 所述第二弯折管道的一端与第二源瓶连通,所述第二弯折管道的另一端与所述喷洒装置连通,所述第二源瓶中的气体经过所述第二弯折管道从所述喷洒装置喷出。
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